RTN(Random Telegrah Noise)測定ソフトウェア ： PS-X30 C10107A

RTNとは

  • MOSFETに定電圧が印加されているにもかかわらず、時間とともに電流が2値の変化をする現象
  • 絶縁膜のトラップに電荷が出入りすることで発生するランダム現象
  • MOSFETの面積が小さくなるほど、電流の変化量が大きくなり、Vthの変動幅が拡大する
  • High、Lowの時間（時定数）は、usから数時間と広範囲に及ぶ
  • MOSFETの特性ばらつきの原因の一つと言われている
  • これまで測定できる装置がなく、複数の測定器を組み合わせて測定システムを構築する必要があった

多量測定に適した測定ソフトウェア&データ解析ソフトウェア

自動測定環境でランダム現象を捉える

  • トラップの数、電流変化の振幅、時定数および発生するデバイスが全てランダムな現象なので、多量に測定して統計的に解析する必要がある。そのため、専用の自動測定ソフトウェアとデータ解析ソフトウェアを準備している。

測定ソフトウェア

  • カスケードマイクロテック社、ベクターセミコン社のセミオートプローバに対応
  • サンプリングレート、バイアス電圧を任意の組み合わせで測定

データ解析ソフトウェア                                                                                                                                  

  • トラップ数、⊿Id、⊿Vthを算出
  • ヒストグラム、パワースペクトル密度、時定数解析
  • ウェハマップ解析
     

測定系の構築が容易

  • WGFMUモジュール1枚に2ch搭載
  • RSUをデバイス近くに配置
  • RSUとプローブをSMAケーブルで接続する

 

◆ドキュメントおよびダウンロード

 

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