B2980Aシリーズ アンメータによる半導体の微小電流測定 | キーサイト
アプリケーションノート
はじめに
微小電流測定は、ピコアンメータやエレクトロメータの重要な性能の1つであり、多くの場合、アトアンペア（aA）レベルの電流測定分解能で仕様化されています。微小電流の測定機能に加えて、ノイズを平滑化するフィルタリングや、デバッグ作業を簡素化する基本的な測定データ評価ツールなどの測定機能も重要な役割を果たします。
高感度の微小電流測定するには、以下の4つの機能が必要です。
- フェムトアンペアの電流測定機能。
- 柔軟性の高いフローティング設計構成。
- アベレージング、フィルタリング、ゼロ・キャンセルによるデータ品質の向上機能。
- ヒストグラムやタイム・ドメイン・グラフなどを使った測定データの解析機能。
Keysight B2981A/B2983Aフェムト／ピコアンメータとB2985A/B2987Aエレクトロメータ／ハイレジスタンス・メータは、最小10aAの分解能の優れた性能と測定の信頼性を備え、上記の機能をすべてサポートしています。
本書では、B2980Aシリーズアンメータの電流測定性能をダイオード測定を例に説明しています。
注記：B2983AとB2987Aは充電式バッテリが内蔵されているので、AC電源に接続しなくても使用できます
測定の基礎とB2980Aシリーズの性能
1. 低ノイズ、低入力インピーダンス、微小電流のアンメータにより、安定した測定データを提供
B2980Aシリーズには以下のような特長があります。
- B2980Aでは、低ノイズ設計によって100aA未満の電流測定が可能です（最小分解能は10aA）。
- 低入力抵抗とオフセット電圧により測定応答を高速化し、より精度の高い測定結果を得られます。
以上の特長を備えたB2980Aシリーズアンメータにより、幅広いアプリケーション（特に微小電流測定）で安定した測定が行えます。