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10706B 고안정성 평면 미러 간섭계
키사이트 10706B 고안정성 평면 미러 간섭계는 X-Y 스테이지와 같은 다중 축 분야에 사용되는 듀얼 패스 간섭계입니다.
주요 특징
키사이트 10706B 고안정성 평면 미러 간섭계는 측정 미러가 측정 축에 수직으로 이동할 수 있는 X-Y 스테이지와 같은 다중 축 분야에 사용되는 듀얼 패스 간섭계입니다. 열적으로 안정적인 이 옵틱은 10706A 평면 미러 간섭계와 정확히 동일한 기능을 가지며 열 측정 드리프트를 보통 기존 평면 미러 간섭계의 1/12로 줄여줍니다. 10706B의 고유한 특징은 평면 미러 반사기의 각도 오정렬 공차입니다. 10706B는 다양한 측정 미러 각도 정렬 변화를 수용할 수 있습니다.
10706B는 레퍼런스용 10723A 고안정성 어댑터(고반사기와 1/4 파장판으로 구성) 1개, 빔 경로 조작을 위한 역반사체 1개 및 1/4 파장판 1개를 포함합니다. X-Y 스테이지의 경우, 사용자가 미러를 준비해야 합니다. 단일 축의 경우, 10724A 평면 미러 반사기를 사용할 수 있습니다.
10706B는 레퍼런스 10723A 고안정성 어댑터와 1/4 파장판을 교환하고, 새 마운팅을 추가하고, 10723A(10706B에 포함된 하드웨어)에 맞게 하드웨어를 조정하는 방식으로 빔을 구부리는 데 사용할 수 있습니다. 10706B는 이동하는 콤포넌트로는 사용할 수 없습니다.
10706B는 차동 작동에 사용할 수 없습니다.
10706B는 기능적으로 정확히 10706A와 동일하지만 열적 안정성은 더 우수합니다.
- 응용 분야: 평면 미러
- 주요 특징: 높은 안정성
- 축 수: 1개
- 최대 빔 크기: 6 mm
- 빔 간격: 12.7 mm(0.5인치)
- 무게: 323 g(11.4온스)
- 기본 광 분해능: λ/4(158.2 nm, 6.2 µin)
- 시스템 분해능: λ/128(5 nm, 0.2 µin), 32x 전자 분해능 확장 사용 기준
- 시스템 분해능: λ/1024(0.62 nm, 0.024 µin), 256x 전자 분해능 확장 사용 기준
- 반사기: 10724A 또는 사용자 제공
- 사용된 마운트: 10711A
- 레퍼런스: 없음
- 돌려진 구성: 예(장치 교환 방식)
레이저 간섭계 위치 측정 시스템에 대해 자세히 알아보십시오.
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