빔 디렉팅 및 반사 옵틱은 간단히 빔을 분리, 굴곡 또는 변환하지만 편광 빔 분리기를 제외하고는 일반적으로 편광을 수정하지 않습니다. 예를 들어 이동하는 물체에서 무게를 계속 줄이기 위해 미러, 큐브 코너 및 역반사체가 해당 물체에 부착됩니다(이동하는 물체에 간섭계를 장착하는 대신).

  • 미러는 빔을 간섭계로 다시 반사하기 위해 일반적으로 이동하는 물체에 부착되며 임의로 빔을 구부리는 데도 사용될 수 있습니다.
  • 큐브 코너는 수신 경로에 평행하게 레이저 빔을 반사하거나 돌려보냅니다. 반사 각도를 제어하는 데는 사용할 수 없습니다. 반사 각도는 고정적이므로 발신 빔은 수신 빔에 평행합니다. 큐브 코너는 하우징이 없습니다.
  • 역반사체는 큐브 코너와 동일하지만 하우징이 있습니다.
  • 빔 벤더는 일반적으로 빔을 편향시킵니다(예: 90도).
  • 매니퓰레이터는 특수한 범주의 빔 벤더입니다. 빔을 쉽게 변환하거나 꺽을 수 있으며 빔 위치에 대한 보다 정밀한 제어가 가능합니다.
  • 빔 분리기는 레이저 빔을 여러 개의 빔으로 분할합니다. 나열된 비율은 주 경로에서 분배되는 빔 성능의 퍼센트를 나타냅니다. 분할 경로는 일반적으로 주 경로의 90도 각도입니다.
  • 편광 빔 분리기는 레이저 빔의 두 주파수를 기준 경로와 측정 경로로 분리합니다. 빔 파워는 두 경로에 균등하게 분리됩니다.
  • 진공 호환이란 옵틱이 아웃개싱을 최소화하도록 설계되었으며 진공 상태에서 작동한다는 것을 의미합니다. 진공 호환 옵틱은 주로 전체 노출 머신 및 포지셔닝 단계를 진공 상태로 놓아야 하는 전자 빔 직접 쓰기(E-beam direct write) 분야에 사용됩니다.

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