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B2201A B2201A 14 通道低洩漏開關主機

售貨廠商:

配置

價格: 台灣

* 價格如有變動,恕不另行通知。 此處所列價格為製造商建議零售價格(MSRP)

主要技術規格

一般功能

  • 透過指示燈顯示繼電器狀態,可快速驗證並排除量測設定錯誤
  • 可利用鍵盤或選配的光筆,在前面板上進行控制
  • Keysight EasyEXPERT 軟體提供直覺式 GUI,方便使用者進行控制,並自動執行開關配置
  • 透過整合式 EasyEXPERT 軟體電容補償將 CV 輸入最佳化

量測功能

  • 使用 Keysight 4156C、B1500A 或 E5270B HRSMU,透過開關達到 10 毫微微安 (femtoamp) 的量測解析度
  • < 2 秒 (10 V 輸入步進) (補充資訊) 的暫態電流穩定時間 (< 300 fA)
  • 30 MHz 頻寬 (- 3 dB) (補充資訊)
  • 為低電流 (三軸) 路徑提供 50 T 歐姆的通道隔離

架構

  • 8 路低電流 (三軸) 輸入和 6 路通用 (同軸) 輸入
  • 模組化設計,支援 x12、x24、x36 和 x48 三軸輸出配置
  • 14 條內部路徑 (無多工輸入)
  • 與 Keysight B2220A 低洩漏探頭卡介面相容

敘述

Keysight B2201A 可自動執行特性測試,以降低測試成本,對於半導體參數分析儀的測量效能只有些微影響。它支援 4 SMU full-Kelvin 配置以及電容表,並提供靈活的擴充性。此外,它還具備 14 路輸入,每路輸入都使用唯一的內部量測路徑,其中兩路輸入還具有特殊的電容量測補償特性。使用者可用鍵盤或選配的光筆在前面板上進行操控,並支援脈衝產生器等儀器。

產業挑戰

過去,半導體業者必須耗費大量時間和成本,針對晶圓上眾多的測試結構,進行所有必要的參數測量。然而,隨著終端用戶設備的成本持續下滑,實驗室特性分析環境之測試成本也被迫隨之調降。使用具備半自動或全自動晶圓探棒的開關矩陣,可自動執行特性分析測試,而且每次測試新模組時,也無需操作人員手動將探棒回復原來位置。

許多現有的開關矩陣都有期侷限。舉例而言,許多開關矩陣會降低半導體參數分析儀的低電流量測效能,使其成為量測鏈中最薄弱的一環。如果內部路徑數量不足,那麼開關矩陣就無法支援 4 終端 full-Kelvin量測和電容表,而且每次將量測從 IV 變成 CV 時,都要花很多時間手動變更電纜連線。而且,如果開關矩陣不能對電容量測結果進行補償,以消除因路徑長度而產生的量測失真,那麼這些測量結果都不準確。

摘要

優異的開關矩陣效能,適中的價格

Keysight B2201A 14 通道低洩漏開關主機提供出色的低電流洩漏和電容測量效能,而且不像其他替代解決方案有著種種限制。它可支援持 10 fA量測,這意味著它並不會大幅降低半導體參數分析儀的效能。它的價格適中,對於要求不是特別苛刻的量測環境而言,是相當具經濟效益的量測解決方案。如果輸入的數量夠多,它還可支援4-SMU full-Kelvin 配置。所有 14 路輸入均對應唯一的內部路徑,因此可以同時使用。不同於其他同類的解決方案,它可以避免因為每個通道的路徑長度不同,而產生的固有誤差,確保電容量測結果不會出現失真;此外,系統提供了必要的參數和演算法來補償這些差異。它的模組化結構支援 12、24、36 或 48 路輸出配置,大幅提高使用靈活度。30 MHz 頻寬讓它能夠使用脈衝發生器等儀器。藉由使用附加的 LED 顯示,以及透過鍵盤或選配的光筆進行前面板操控,提供靈活的操作方式。

  • 符合半導體參數分析儀效能的水準
    近來,半導體參數分析儀的效能再度大幅提升。Keysight B2201A 開關矩陣可支援 10 fA 量測解析度,符合半導體參數分析儀的效能水準,而且不會嚴重影響其量測效能。
  • 避開多工帶來的量測限制
    讓使用者無需花很長時間手動切換 Keysight B2201A 的 14 條內部量測路徑,避免延誤量測進度。每路輸入都有自己的內部路徑,可以同時運作,免除因為在共用路徑上多工輸入所帶來的限制。
  • 無失真的精確電容量測
    在量測電容時,電纜長度 (包括矩 陣中的路徑) 對量測結果有很大的影響。藉由使用針對電容量測最佳化的兩路 BNC 輸入,Keysight B2201A 開關矩陣主機與同類解決方案不同,它可以修正因為矩陣內部路徑長度而產生的誤差,並提供補償參數以確保量測結果不失真。

特色與優點

特色效益
10 毫微微安 (femtoamp) 解析度的電流量測能力開關矩陣並不會影響半導體參數分析儀的量測效能。
8 路三軸輸入和 6 路 BNC 輸入它支援 4 SMU full-Kelvin 配置以及電容表,並留出 4 路 BNC 輸入,便於未來擴展。
14 條可同時使用的內部路徑使您能夠同時使用所有的 8 路三軸輸入和所有的 6 路 BNC 輸入。
電容量測補償特性30 MHz 頻寬可修正因為矩陣內部路徑長度而產生的誤差,讓您能夠透過開關矩陣準確地量測電容。
提供 LED 顯示,並可利用鍵盤或選配的光筆在前面板上進行控制藉由顯示矩陣繼電器狀態,並且支援手動更改繼電器狀態,使您能夠對量測結構進行離線除錯。
30 MHz 頻寬Keysight B2201A 開關讓您能夠使用脈衝發生器等儀器。

元件

  • Keysight B2201A 14 通道低洩漏開關主機
  • Keysight B2211A 14 通道低洩漏開關模組

主要規格

Keysight B2201A
規格數量
埠數 
I-V port8 個三軸埠 (包括 Guard 埠)
AUX port6 個 BNC 埠 (2 個 CV埠)
輸出通道可使用三軸埠 (包括 Guard 埠)、x12、x24、x36 和 x48 配置
插槽數4 個插槽,可插入 48mm 高的開關模組
Keysight B2211A
規格數值
最大額定電流 
I-V port1.0 A
AUX port0.5 A
最大額定電壓 
I-V port (其他通道)200V
I-V port (通用)300V
AUX port (其他通道)100V
AUX port (通用)100V
通道隔離 
I-V port5 x 10^13(ohm)
AUX port1 x 10^9(ohm)
偏移電流 (補充) 
I-V port50 fA
IM 雜訊 (RMS) (補充) 
I-V port5 fA
額外的 C 量測誤差 (補充)< ± 1 % + 0.2 pF
頻寬 (在 --3dB 時)30MHz
趨穩時間 (補充)2.0 秒 (300 fA 時)

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