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B1500A 的 SMU 整合了四象限電壓/電流源與量測功能，可在 0.1 fA 至 1 A / 0.5 µV 至 200 V 範圍內進行準確的 IV 量測，同時還支援頻點、掃描、脈衝取樣和 QS-CV 量測。
HIGHLIGHTS
提供直流和時間相依量測，讓您對電流電壓（IV）量測具有絕對的信心
- 4 象限電源量測功能，可讓您在低至 0.1 fA-1 A / 0.5 µV-200 V 的範圍內，進行準確的電流電壓（IV）特性分析
- 提供點測、掃描、脈衝和取樣量測功能，可用於各種量測
- 最小取樣量測間隔為 100μs，最小脈衝寬度為 500μs
- 準確的準靜態電容電壓（QS-CV）量測，具漏電流補償功能
不打折的直流量測效能，可實現低至 sub-fA / µV 解析度的低電流/電壓量測
電源量測設備（SMU）是 Keysight B1500A 半導體元件參數分析儀的關鍵量測模組。這些 SMU 將電壓/電流源和量測功能整合至單一模組中，並且能夠以 fA/µV 解析度進行準確的直流電流電壓（IV）量測。如需更高的量測效能，也可以透過選配的 ASU（Atto 感測開關單元）將低電流量測效能擴充至 sub-fA 等級。
SMU 還可以執行準靜態電容電壓（QS-CV）量測。這是一種測得低頻 CV 特性的量測方法，也是對電晶體閘極狀態與表面狀態，以及高頻 CV 進行特性分析時，必備的工具。Keysight B1500A 具有漏電流補償功能，可實現準確的 QS-CV 量測。
如搭配使用 EasyEXPERT 軟體的分析和資料管理功能，它還可以對任何需要精密電壓與電流量測的半導體、奈米元件（包含奈米碳管和奈米碳線）、主動/被動元件、材料及其他電子元件，進行有效而實用的分析。
利用準確的硬體時脈時序控制功能，進行準確的時間相依特性分析，例如脈衝和取樣量測
除直流量測外，Keysight B1500A 的 SMU 還提供進階的時間相依量測功能，例如脈勢和取樣量測功能。它具備強大的脈衝和取樣量測功能，可顯現並擷取動態特性。此外，其時序準確度可大幅增進時間相依量測結果。Keysight B1500A 的 SMU 可透過硬體時脈精密時序控制，來執行準確的量測。最小取樣量測間隔低至 100μs，最小脈衝寬度低至 500μs。
Keysight B1500A 提供以下三種類型的 SMU，可滿足您的測試需求。
| SMU 型號 | 主要特色與規格 |
|---|---|
| B1510A 高功率電源量測設備（HPSMU） |
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| B1511B 中功率電源量測設備（MPSMU） |
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| B1517A 高解析度電源量測設備（HRSMU） |
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