產品特性

最大範圍

  • 長達 15 公尺

準確度

  • 顯示數值的 ±0.2%

解析度(以每英呎步進 )

  • 0.002 μm
  • 0.003 μm
  • 0.005 μm

參考平面準確度

平板平坦度量測的不確定性,和以下兩個平行平面數值有關:

  • 公制單位模式:0.03 M2 µm,其中 M = 表面對角線長度,單位為公尺
  • 英制單位模式:0.12 F2 µin,其中 F = 表面對角線長度,單位為英呎

如結合使用 55282A 平坦度配件套件和 55281A 角度光學套件,5530 雷射校驗系統可執行平坦度和直度量測。

55282A 平坦度配件套件由一個 10759A 底座支撐套件和兩個 10773A 平坦反射鏡組成。 底座支撐套件提供三種精密底板,墊片間距分別為 50.8 mm、101.6 mm 和 152.4 mm,可有效減少平板校驗所需的格線設定和資料累積時間。 平坦度反射鏡可提供 100% 的反射率,可將入射雷射光束轉 90 度。

55282A 平坦度配件套件是一系列量測光學元件的一員,讓您能客製干涉儀系統,以因應各個不同應用的實體布局和量測要求。 如配置合適的雷射頭和系統電子元件,這些光學元件可協助您建構精準的定位或校驗系統,以提高產品品質、增加產能,進而加速製造精密的產品。

  • 此反射鏡安裝於旋轉固定底盤上,方便您輕鬆地進行平板校驗
  • 相較於常見的自動準直儀與水平儀,它可實現更快的量測與分析,以及更好的準確度和可重測性
  • 平板表面沒有任何產熱物體
  • 可用於各種是德科技系統,包括 5530 雷射校驗系統

主要技術規格

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55282A Flatness Accessory Kit

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