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配置

價格: 繁體中文

* 價格如有變動,恕不另行通知。 此處所列價格為製造商建議零售價格(MSRP)

敘述

Keysight 10774A 短距離直線度光學元件結合直線度干涉儀與反射器,可在長達 3 m 的移動範圍內進行量測。此光學元件構成具高準確度的光學直尺,可量測機具的移動直線度與量測工具機的座標運動,解析度達 0.04 µm(1uin)。

除了 Keysight 10774A(與 Keysight 5530 雷射校驗系統搭配使用) 之外,您還可使用其他許多元件來客製干涉儀系統,以滿足各個應用的實體佈局和量測需求。

 

  • 直線度量測準確度
  • 整體準確度 = 光學參考準確度 + 量測準確度
  • 類似於使用傳統直尺與指示器量測直線度的方法,其光學參考準確度相當於直尺準確度,而量測準確度則相當於指示器準確度
  • 光學參考準確度
  • 利用直尺(反射鏡)反轉技術,可消除光學參考不準確度
  • 公制單位模式:0.15 M2 µm
  • 英制單位模式:0.5 F2 µin
  • 量測準確度
  • 溫度範圍顯示值:0 µm 至 10 µm 10 至 1,500 µm
  • 0 µm 至 400 µm 400 至 60,000 µm
  • 15° C 至 25 °C ±3.5% ±1% ±0.25 µm (10 µin)
  • 0° C 至 40° C ±6% ±1% ±0.5 µm (20 µin)
  • 直線度量測解析度
  • Keysight 5519A、Keysight 5519B
  • 短距離:0.01 µm(0.4 µin)0.04 µm(1.4 µin)
  • 直線度量測範圍(與軸向移動正交)
  • ±1.5 mm(0.060 in)
  • 軸向分離(移動)
  • (干涉儀與反射器之間的距離,典型值,經適當校驗,15°C 至 25°C):
  • 短距離光元件:0.1 m 至 3 m(4 in 至 120 in)
  • 高解析度平面鏡
  • 對空氣擾動的靈敏度較低,可提供比校驗雷射器更高的準確度
  • 可單獨販售或內含於 Keysight 55283A 直線度量測套件