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產品特性
Keysight 10735A 三軸干涉儀可用於需要對平台進行線性和角度控制的多軸量測應用。 它在單一套件中整合了光具座功能、多個光束轉折鏡、射束分離器，以及三個干涉儀。 這些干涉儀將入射的雷射光束分成三束，以便量測直線距離、俯仰度和偏離度，或直線距離、搖擺度和偏離度。 三種線性量測可為計算兩個角度量測提供基礎。 固有的光束平行度可確保三個量測之間基本上沒有餘弦誤差，進而確保俯仰度和偏離度量測的角度準確度。 其他特性包括：
- 高效能套件，可節省配置時間並提升系統效能
- 簡單的多軸安裝
- 更高的角度解析度，可實現更精準的控制
- 寬廣的角度範圍
- 單晶光學系統，可提供最高的機械穩定度
- 預先對準的光纖遠端接收器安裝配件
- 參考光學元件
Keysight 10735A 包含兩個剪切板（可建立三條平行光束路徑）、三個角隅稜鏡、一個參考平面鏡，以及兩個 1/4 波片。
除了量測波束方向圖不同外，10735A 和 10736A 完全相同。
- 應用：3 種線性平面鏡量測（沿 X 軸位移、沿 Z 軸偏離、沿 Y 軸俯仰）
- 主要特性：1 個線性平面鏡量測和 2 個角平面鏡量測
- 軸數：3
- 最大光束尺寸：9 mm
- 光束分離：見規格
- 重量：5.5 公斤
- 基本光學解析度：λ/4（158.2 nm，6.2 µin）
- 系統解析度：位移 λ/128（5 nm，0.2 µin）、偏離 0.039 arcsec（0.19 µrad）、俯仰 0.049 arcsec（0.24 µrad），基於使用 32 倍電子解析度擴充特性
- 系統解析度：位移 λ/1024（0.62 nm，0.024 µin），偏離 0.0049 arcsec（0.024 µrad），俯仰 0.0061 arcsec（0.029 µrad），基於使用 256 倍電子解析度擴充特性
- 系統解析度：位移 λ/4096（0.15 nm，0.006 µin），偏離 0.0012 arcsec（0.006 µrad），俯仰 0.0015 arcsec（0.007 µrad），基於使用 1024 倍電子解析度擴充特性
- 反射器：10728A
- 使用的底座：客製
- 提供參考：有
- 改變光束配置：無 （僅限改變光束）
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