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產品特性
Keysight 10706A 平面鏡干涉儀是一款雙通道干涉儀，適用於多軸應用，例如 XY 載物台，在這些應用中，量測反射鏡可能會垂直於量測軸移動。 對於平面鏡反射器角度錯準的容差度，是 10706A 獨特之處。 10706A 可接受各種量測反射鏡角度對準度的變化。
10706A 包含兩個復歸反射器（一個用於參考，另一個用於操縱波束路徑）和一個 1/4 波片。 對於 XY 載物台應用，使用者必須提供反射鏡。 適用於單軸應用，可以使用 10724A 平面鏡反射器。
10706A 可互換參考復歸反射器和 1/4 波片，以便用來彎曲波束。 10706A 不能當作移動元件使用。
進行差動操作時，需使用 10722A 平面鏡轉換器取代參考復歸反射器，並將參考平面鏡連接到感興趣的參考面。
使用 10723A 高穩度轉接器可將 10706A 轉換為 10706B 高穩度平面鏡干涉儀。 Keysight 10706B 的功能與 Keysight 10706A 相當，但具有更出色的熱穩定度。
- 應用：平面鏡
- 獨特之處：平面鏡反射器
- 軸數：1
- 最大波束尺寸：6 mm
- 波束間隔：12.7 mm
- 重量：308 g
- 基本光學解析度：λ/4（158.2 nm，6.2 µin）
- 系統解析度：λ/128（5 nm，0.2 µin），基於使用 32 倍電子解析度擴展
- 系統解析度：λ/1024（0.62 nm，0.024 µin），基於使用 256 倍電子解析度擴展模組
- 反射器：10724A 或使用者提供
- 使用的底座：10711A
- 參考：無
- 改變波束配置：有，透過互換零件
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