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B1500A 半導體元件分析儀和量測模組

Keysight B1500A 半導體元件分析儀是精密型電流電壓分析儀系列的一員。這款多合一分析儀支援 IV、CV、脈衝/動態 IV 等量測功能,專為全方位特性分析而設計,可因應從基本到最尖端應用的需求。它提供包羅萬象的量測功能,可對元件、材料、半導體、主動或被動元件,或是任何其他類型的電子元件,進行電氣特性分析和評估,而且量測可靠度和效率絲毫不打折。此外,假如日後您的量測需求改變,Keysight B1500A 的模組化架構具有 10 個可用插槽,可讓您輕易地新增或升級量測模組。

Keysight EasyEXPERT group+ 是一款基於圖形操作介面的特性分析軟體,可在 B1500A 嵌入式 Windows 7 平台上執行,透過 15 吋觸控螢幕或是在 PC 上執行各項任務,加速完成特性分析。此軟體支援互動式手動操作以及結合半自動晶圓探棒的自動操作,在整個特性分析過程中,從量測設定和執行、結果分析到資料管理,實現高效率且可重複的元件特性分析。EasyEXPERT group+ 配備數百種易於使用的量測(應用測試)功能,方便您快速輕鬆地執行複雜元件特性分析,並可選擇在每次量測結束後,將測試條件和量測資料自動保存到獨有的內建資料庫(工作區)中,以確保不會遺失重要的資訊,並且在日後能夠重複執行該量測。憑藉這些多元量測功能,Keysight B1500A 可提供完整的元件特性分析解決方案。

B1500A 支援各種模組,您可根據您的量測需求,配置多達 10 個插槽。標準 SMU 模組可用來執行各種 IV 量測,例如單點、掃描、取樣量測。此外,SMU 亦支援準靜態定電壓(QSCV)量測。MFCMU 模組支援電容量測,並可搭配選配的 SCUU 進行 IV/CV 切換。WGFMU 具備任意波形產生和快速數位化量測功能,可針對尖端應用進行超快速脈衝式 IV 和動態 IV 量測。這些多元的模組可支援各式各樣的應用。 

獲得更多關於 B1500A 應用軟體的資訊。

  • B1500A 半導體元件參數分析儀/半導體特性分析系統主機 B1500A 半導體元件參數分析儀/半導體特性分析系統主機 

    B1500A 半導體元件參數分析儀/半導體特性分析系統主機

    • 可配置和可升級的量測模組,多達 10 插槽
    • EasyEXPERT group+ 軟體可在嵌入式 Windows 7 上執行
    • 數百種現成可用的量測程序庫
    • 15 吋觸控螢幕支援直覺的操作、分析和探索,以進行深入的特性分析
       

  • B1514A (B1500A-A1A, B1500AU-141) 50 µs Pulse Medium Current Source/Measure Unit (MCSMU) B1514A (B1500A-A1A, B1500AU-141) 50 µs Pulse Medium Current Source/Measure Unit (MCSMU) 

    B1514A (B1500A-A1A, B1500AU-141) 50 µs Pulse Medium Current Source/Measure Unit (MCSMU)

    • A wide pulse range up to 30 V / 1 A (0.1 A DC)
    • Pulse width down to 50 µs with 2 μs resolution (10 times faster pulse than other SMUs of B1500A)
    • Oscilloscope view is supported to confidently verify the pulsed measurement setup and optimize its parameters quickly and easily
       

  • B1530A (B1500A-A30, B1500AU-030) Keysight B1500A 適用的波形產生器/快速量測裝置 (WGFMU) 模組 B1530A (B1500A-A30, B1500AU-030) Keysight B1500A 適用的波形產生器/快速量測裝置 (WGFMU) 模組 

    B1530A (B1500A-A30, B1500AU-030) Keysight B1500A 適用的波形產生器/快速量測裝置 (WGFMU) 模組

    WGFMU 是創新的參數模組,整合了任意線性波形產生 (ALWG) 功能和高速 IV 量測。

  • B1510A/B1511B/B1517A (B1500A-A10/A11/A17) Source Measure Units (SMUs) B1510A/B1511B/B1517A (B1500A-A10/A11/A17) Source Measure Units (SMUs) 

    B1510A/B1511B/B1517A (B1500A-A10/A11/A17) Source Measure Units (SMUs)

    • 4-quadrant source and measurement for accurate IV characterization down to fA
    • Measurement range 0.1 fA - 1 A / 0.5 µV - 200 V
    • Spot, sweep, pulse and sampling measurement capabilities
    • QS-CV measurement with leak current compensation

  • B1520A (B1500A-A20, B1500AU-020) Multi Frequency Capacitance Measurement Unit (MFCMU) B1520A (B1500A-A20, B1500AU-020) Multi Frequency Capacitance Measurement Unit (MFCMU) 

    B1520A (B1500A-A20, B1500AU-020) Multi Frequency Capacitance Measurement Unit (MFCMU)

    • Multi frequency AC impedance measurement capability for CV, C-t and C-f measurement
    • Frequency range from 1 kHz to 5 MHz
    • 25 V built-in DC bias and 100 V DC bias with SMU and SCUU Easy and fast yet accurate IV and CV measurements by the SCUU

  • B1525A (B1500A-A25, B1500AU-025) High Voltage Semiconductor Pulse Generator Unit  (HV-SPGU) B1525A (B1500A-A25, B1500AU-025) High Voltage Semiconductor Pulse Generator Unit (HV-SPGU) 

    B1525A (B1500A-A25, B1500AU-025) High Voltage Semiconductor Pulse Generator Unit (HV-SPGU)

    • High voltage output up to ±40 V applicable for non-volatile memory evaluations
    • Two-level and three-level pulse capability is supported by each channel
    • Flexible arbitrary waveform generation with 10 ns resolution
    • Two channels per modules

  • B1542A 10 ns 脈衝 IV 參數測試解決方案 B1542A 10 ns 脈衝 IV 參數測試解決方案 

    B1542A 10 ns 脈衝 IV 參數測試解決方案

    • 非常適合用於高 k/SOI 脈衝 IV 特性分析
    • 閘極脈寬最小值是 10 ns,上升和下降時間為 2 ns
    • 1 µs 電流量測解析度
    • 支援儀器:B1500A、E5270B、E5260A、E5262/63A、4155B/C 和 4156B/C