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除了偏振分光鏡 (polarizing beam splitters) 外，光束直射與反射光學元件僅能反射、轉折或轉移光束，而且通常是無法修改的偏振。
例如，反射鏡 (mirror)、隅角反射鏡 (cube corner) 及後向反射鏡 (retroreflector) 都連接至會移動的物體上，這是為了保持移動中的物體重量下降 (而不是在移動的物件上安裝干涉儀)。反射鏡通常連接至移動的物體上，以將光束反射回干涉儀上，但反射鏡也可以用來任意地轉折光束。隅角反射鏡反射 (或折返) 雷射光束，使其平行於入射光路，但它們無法用來控制反射角；反射角是固定的，因此射出光束與入射光束會平行。隅角反射鏡沒有外罩。後向反射鏡同隅角反射鏡，但具有外罩。
光束轉折鏡通常會讓光束偏轉角度，例如 90 度角。操縱器是一種特殊種類的光束轉折鏡，它能輕鬆地平移光束或使光束轉向，以更精密地控制光束的位置。分光鏡能將雷射光束分成多個光束，所列的百分比說明了由主要光路分離的光束之功率百分比，而分路通常在主要光路 90 度的位置。偏振分光鏡將雷射光束中的兩個頻率光分成參考光路及量測光路。光束功率均平於兩條光路中。
真空相容表示透鏡是用來使除氣 (outgassing) 減少到最低限度，以便在真空的環境中運作。真空相容光學元件主要使用於 Ebeam 直接記錄的應用場合，即整個曝光機器及定位階段必須置於真空的地方。
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Keysight 10725A 50% 分光鏡專為直徑 9 mm 或更小的光束而設計。 這種裸露的光學元件需要使用者自備的底座。
Keysight 10713B 1 吋角反射器（復歸反射器）可在線性量測中當作量測反射器使用。 這種裸露的光學元件需要使用者自備的底座。
Keysight 10704A 復歸反射器（角反射器）是適用於單光束量測的量測反射器。 它專為直徑 6 mm 或更小的光束而設計。
Keysight 10707A 可將入射光束轉折 90 度。 它專為直徑 6 mm 或更小的光束而設計。
Keysight 10713C 1/2 吋角反射器可在線性量測中當作量測反射器使用。 這種裸露的光學元件需要使用者自備的底座。
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