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光束直射與反射光學元件

除了偏振分光鏡 (polarizing beam splitters) 外，光束直射與反射光學元件僅能反射、轉折或轉移光束，而且通常是無法修改的偏振。

例如，反射鏡 (mirror)、隅角反射鏡 (cube corner) 及後向反射鏡 (retroreflector) 都連接至會移動的物體上，這是為了保持移動中的物體重量下降 (而不是在移動的物件上安裝干涉儀)。反射鏡通常連接至移動的物體上，以將光束反射回干涉儀上，但反射鏡也可以用來任意地轉折光束。隅角反射鏡反射 (或折返) 雷射光束，使其平行於入射光路，但它們無法用來控制反射角；反射角是固定的，因此射出光束與入射光束會平行。隅角反射鏡沒有外罩。後向反射鏡同隅角反射鏡，但具有外罩。

光束轉折鏡通常會讓光束偏轉角度，例如 90 度角。操縱器是一種特殊種類的光束轉折鏡，它能輕鬆地平移光束或使光束轉向，以更精密地控制光束的位置。分光鏡能將雷射光束分成多個光束，所列的百分比說明了由主要光路分離的光束之功率百分比，而分路通常在主要光路 90 度的位置。偏振分光鏡將雷射光束中的兩個頻率光分成參考光路及量測光路。光束功率均平於兩條光路中。

真空相容表示透鏡是用來使除氣 (outgassing) 減少到最低限度，以便在真空的環境中運作。真空相容光學元件主要使用於 Ebeam 直接記錄的應用場合，即整個曝光機器及定位階段必須置於真空的地方。

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    10567A 50% 雙分光鏡

    Keysight 10567A雙分光鏡能允許兩個分離的光束以平行入射的光束方式經由分光鏡折返。它是為直徑等於或小於 3 公厘的光束而安裝設計的。

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    10700A 33% 分光鏡

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    Keysight 10703A 後向反射鏡 (隅角反射鏡) 是線性量測的基本量測反射鏡。它是為直徑等於或小於 6 公厘的光束而安裝設計的。

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    10704A 後向反射鏡

    Keysight 10704A 後向反射鏡 (隅角反射鏡) 是單一光束量測的量測反射鏡，是專為直徑等於或小於 9 公厘的光束而安裝設計的。

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    10707A 光束轉折鏡

    Keysight 10707A 能在角度呈現 90 度時，讓入射光束轉折，是為直徑等於或小於 6 公厘的光束而安裝設計的。

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  • 10710A 可調式架座 10710A 可調式架座 

    10710A 可調式架座

    Keysight 10710A 可調式光學架座可使對準變得既快又容易，適用於 Keysight 10700A、Keysight 10701A、Keysight 10705A 及 Keysight 10707A，並允許 ± 8 度的傾斜度及偏轉。

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    10710B 可調式架座

    Keysight 10710B 可調式光學架座使得對準變得較快也較容易。適用於 Keysight 10700A、Keysight 10701A、Keysight 10705A 及 Keysight 10707A，並允許 ± 8 度的傾斜度及偏轉。

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    10711A 可調式架座

    Keysight 10711A 可調式光學架座可使對準變得既快又容易，適用於 Keysight 10702A、Keysight 10706A、Keysight 10715A 及 Keysight 10716A，並允許 ± 5 度的傾斜度及偏轉。

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    10713B 1 英吋的隅角反射鏡

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    10713C 1/2 英吋隅角反射鏡

    Keysight 10713C 1/2 英吋隅角反射鏡可以當成線性量測的量測反射鏡使用。這個裸透鏡需要一個使用者供應的架座。

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    10722A 平面反射鏡轉換器

    Keysight 10722A 平面反射鏡轉換器可修正 Keysight 10702A 線性干涉儀，使其能如平面反射鏡干涉儀一般地運作。主要使用於校驗器系統。

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    10723A 高穩定性轉接器

    Keysight 10723A 高穩定性轉接器是用來將 Keysight 10706A 干涉儀轉換成 Keysight 10706B 干涉儀。可改善熱穩定性。

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    10724A 平面鏡射反射器

    Keysight 10724A 平面鏡設反射器與 Keysight 10706A/B、10715A、10716A 和 10737L/R 一起使用。僅能與單軸線性量測共同使用

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    10725A 50% 分光鏡

    Keysight 10725A 50% 分光鏡是專為直徑等於或小於 9 公厘的光束而設計的，這個裸透鏡需要一個使用者供應的架座。

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  • 10725B Keysight 10725B 4% 分光鏡 10725B Keysight 10725B 4% 分光鏡 

    10725B Keysight 10725B 4% 分光鏡

    Keysight 10725B 分光鏡是專為直徑等於或小於 9 公厘的光束而設計的，這個裸透鏡需要一個使用者供應的架座。

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  • 10725C 15% Beam Splitter 10725C 15% Beam Splitter 

    10725C 15% Beam Splitter

    The 10725C 15% beam splitter, designed for beam diameters of 9 mm or less, reflects 15% of the total incoming laser beam and transmits 85% straight through. This optic is without housing and requires a user-supplied mount.

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  • 10726A 光束轉折鏡 10726A 光束轉折鏡 

    10726A 光束轉折鏡

    Keysight 10726A 能在角度呈現 90 度時，讓入射光束轉折，且是專為直徑等於或小於 6 公厘的光束而設計的，這個裸透鏡需要一個使用者供應的架座。

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    10728A 平面反射鏡

    Keysight 10728A 平面反射鏡是供直徑等於或小於 9 公厘光束的正常入射平面反射鏡。這個裸透鏡需要一個使用者供應的架座。

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  • 10769B 轉動萬用架座的反射鏡 10769B 轉動萬用架座的反射鏡 

    10769B 轉動萬用架座的反射鏡

    Keysight 10769B 可轉動萬用架座上的反射鏡，以使雷射光束不論在垂直或水平偏振平面，都能以任何角度轉向。主要使用於校驗器系統。

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  • 10784A 適用於光學元件高度調整器及調整柱的基板 10784A 適用於光學元件高度調整器及調整柱的基板 

    10784A 適用於光學元件高度調整器及調整柱的基板

    用於光學元件高度調整器及調整柱的 Keysight 10784A基板，為 Keysight 10785A 高度調整器及調整柱提供了一個裝配板。

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  • E1834E 33% Beam Splitter - BK7, fixed horizontal-bend mount E1834E 33% Beam Splitter - BK7, fixed horizontal-bend mount 

    E1834E 33% Beam Splitter - BK7, fixed horizontal-bend mount

    The E1834E is a 33% beam splitter in a high performance horizontal mount that offer the high pointing stability for Keysight laser interferometer measurement system.

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    The E1834G is a 50% beam splitter in a high performance horizontal mount that offer the high pointing stability for Keysight laser interferometer measurement system.

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    E1834J 67% Beam Splitter – BK7, fixed horizontal-bend mount

    The E1834J is a 67% beam splitter in a high performance horizontal mount that offer the high pointing stability for Keysight laser interferometer measurement system.

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  • E1834M Beam Bender – BK7, fixed horizontal-bend mount E1834M Beam Bender – BK7, fixed horizontal-bend mount 

    E1834M Beam Bender – BK7, fixed horizontal-bend mount

    The E1834M is a beam bender that bends the incoming beam at a 90-degree angle and is designed for beam diameters of 9 mm or less.

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  • E1834Z Beam Bender – BK7, fixed vertical-bend mount E1834Z Beam Bender – BK7, fixed vertical-bend mount 

    E1834Z Beam Bender – BK7, fixed vertical-bend mount

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  • N1206T 操縱器調整工具套件 [已停產] N1206T 操縱器調整工具套件 [已停產] 

    N1206T 操縱器調整工具套件 [已停產]

    是德光束操縱器能精密地將光束轉折或平移。精密地將光束轉折及平移會使雷射光束正確對準，而讓 Abbe 及餘弦的錯誤減至最低。

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