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在高效能多軸系統中，量測二軸和三軸的干涉儀可提高準確度、縮短對準時間並且節省空間。
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Keysight 10735A 三軸干涉儀可用於需要對平台進行線性和角度控制的多軸量測應用。
E1715A 3 軸輕巧型干涉儀採用是德科技先進的單晶體光學設計技術，可滿足對低非線性誤差的要求。
Keysight 10721A 雙軸差動干涉儀可同時進行兩種差動量測，以支援多軸量測應用。
The Keysight 10736A three axis interferometer is used in multiple axis applications where linear and angular control of the stage is required.
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