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線性、單光束和平面鏡干涉儀可量測單軸上的動作。
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Keysight 10705A 單波束干涉儀專為低質量或有限空間的單軸量測而設計。
The Keysight 10706B high stability plane mirror interferometer is a dual pass interferometer used for multiple axis applications such as X-Y stages.
Keysight 10702A 基礎型線性干涉儀適用於線性量測，可執行一般的單軸量測。
Keysight 10706A 平面鏡干涉儀是一款雙程干涉儀，適用於 XY 載物台等多軸應用。
Keysight 10716A 高解析度干涉儀，適用於單軸和多軸應用，例如精密的 XY 載物台。
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