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半導體參數/元件分析儀系列

低洩漏開關矩陣系列（Keysight B2200A/B2201A/E5250A）

低洩漏開關主機解決方案可在半導體參數分析儀和晶圓之間運作，以便提供自動化特性分析功能，進而降低測試成本（Keysight B2200A、B2201A 和 E5250A）。

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產業挑戰

過去，半導體業者必須耗費大量時間和成本，針對晶圓上眾多的測試結構，進行所有必要的參數測量。然而，隨著終端用戶設備的成本持續下滑，實驗室特性分析環境之測試成本也被迫要跟著調降。直到現在，許多致力於改進並發展創新半導體製程技術的工程師與科學家，無不面臨以下的難題：他們必須使用半導體參數分析儀以及具定位器的晶圓探針頭來進行量測，不過這嚴重限制了其自動測試能力；他們也可選擇使用開關矩陣和探針卡，但這樣又會降低分析儀的量測解析度。使用具備半自動或全自動晶圓探棒的開關矩陣，不但可以自動執行特性分析測試，而且每次測試新模組時，無需操作人員手動將探棒回復原來位置，可節省可觀的測試時間與成本。是德提供具備各種不同性價比的開關矩陣解決方案，讓您能夠在預算範圍內，自由自在地選擇可完全滿足您的測試需求的產品。

摘要

靈活的開關矩陣選項，完全無失真的量測

是德低洩漏開關主機可擴充參數分析儀（例如 Keysight B1500A、4155C，或 4156C）的量測功能，以便建立真正自動化的量測解決方案。它們具備開關矩陣和探針卡解決方案所固有的量測靈活度與自動化功能，但絲毫不會減損量測效能。此系列產品陣容齊全，其中包含可提高電流量測解析度的多樣化選項，以及不同的輸入與輸出（I/O）配置。您一定可以挑選到最切合您的測試需求的產品組合。此外，所有解決方案均內含強大補償功能，可針對電容測量結果進行補償，以消除因矩陣內部路徑長度而產生的測量失真。

選擇最切合您需求的量測解析度
提供 1 fA 到 10 fA 級的電流量測解析度，讓您能夠獲得恰好滿足您的測試需求的靈敏度。而隨著半導體參數分析儀功能的推陳出新，此開關矩陣亦可隨之升級，以避免因信號洩漏而導致量測效能下滑。
靈活的輸入與輸出配置
是德針對不同價格與效能的機種，提供不同的選項，從支援非 Kelvin 量測的經濟型量測解決方案，到支援最高 4-SMU、完全 Kelvin 的配置。此外，您還可在此系列產品中，選擇不同的輸出通道配置以及插卡類型，以滿足您的量測需求。Keysight B2200A、B2201A，和 E5250A（已安裝 Keysight E5252A 探針卡）支援 x12、x24、x36，和 x48 通道輸出配置。Keysight E5250A（已安裝 Keysight E5252A 探針卡）則支援x24、x48、x72，和 x96通道輸出配置，並可最多結合四部主機以便建立一個具備 384 個通道的解決方案。
無失真的精確電容量測
是德開關矩陣具備電容量測補償功能，以校準因為矩陣內部路徑長度而產生的誤差。如此一來，您可安心地使用開關矩陣進行準確的電容量測，並利用其他競爭產品欠缺的補償參數來確保測量結果不失真。