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Keysight 4070 系列進階參數測試系統

提供廣泛範圍的系統配置,以滿足您的生產參數測試需求。

本頁內容:摘要 · 產品比較 · 產品與服務

摘要

豐富的功能組合,擁有調整適用未來處理技術的能力,可在生產參數測試中提供廣泛範圍的解決方案和彈性。

隨著 Moore 定律帶動電晶體裝置結構演化日益精細,以及新的突破帶領電路密度一路攀升,半導體製造廠商必須在生產過程中,除進行更多樣化的參數量測外,還要提升許多參數量測的精確度水準。是德以 Keysight 4070 系列迎向這些挑戰,本系列提供今日所有的生產參數測試系統中,最廣泛範圍的解決方案和各種價格/效能的核心機種。Keysight 4070 系列提供測試目前 65 nm 製程技術,以及未來次 65 nm 製程技術時所需的 DC 與 RF 量測能力。

  • 具廣泛功能組合的標準系列機種
    Keysight 4070 系列的所有產品,皆可提供完整的 DC 參數測試功能,包括快閃記憶體單元測試、電容相對於電壓 (CV) 量測,和振鈴振盪器評估。此外,您可將所有機型整合至與 SECS/GEM 相容的 300 mm 自動化工廠環境中。
  • 現在生產測試中也能使用實驗室的測試功能
    截至目前為止,進階 65 nm 製程所需的精確電流與電壓量測解析度,僅能在實驗室環境下使用。Keysight 4070 系列可讓您在生產測試中,量測敏感元件的參數。
  • 改善測試產量,降低測試成本
    在 Keysight 4070 系列中,高速電容量測模組 (CMU) 整合至測試探棒頭中,可供您在 1 KHz 至 2 MHz 的頻率範圍內進行極快速的電容量測。
  • 超薄氧化物結構測試中的終極彈性
    Keysight 4070 系列同時支援 HFCV 和 RFCV 技術,可供使用者在分析 CV 行為特性時,選擇同時符合其製程技術和生產測試需求的最佳方式。
  • 高速元件的精確測試
    Keysight 4070 系列支援 RF S 參數量測 (PNA/ENA),以精確分析這類高速元件的特性。
  • 超短脈衝量測功能可減低熱效應
    Keysight 4070 系列可提供低至 10 奈秒的超短脈衝 IV 量測,可供您分析高度熱敏感元件的特性,例如矽絕緣體 (SOI) 電晶體和 (或) 對充電效應敏感的高介電係數電晶體。

產品比較

產品 直流電參數
測試
快閃單元
測試
振鈴振盪器
評估
1 fA 電流
量測解析度
高速電容
量測 (高達 2 MHz)
RF 20 GHz S 參數/(RFCV) [PNA]
(高達 20 GHz)
HFCV
(高達 110 MHz)
RFCV/(RF S 參數)
[ENA] (高達
8.5 GHz)
超短脈衝 IV
(低至
10 ns)
  4076 S A A S A A A A A
  4075 Advanced DC/RF/Pulse Parametric Tester S A A N/A A A A A A

  4073B
S A A S S N/A N/A N/A N/A

  4072B
S A A N/A S N/A N/A N/A N/A
  4073A S A A S N/A N/A N/A N/A N/A
  Advanced Parametric Tester S A A N/A N/A N/A N/A N/A N/A

S = 標準功能
A = 可用功能
NA = 無法使用

  • 4072A Advanced Parametric Tester [已停產] 4072A Advanced Parametric Tester [已停產] 

    4072A Advanced Parametric Tester [已停產]

    An all-in-one solution for advanced semiconductor process needs. The 4072A provides high throughput, production parametric test, ring oscillator measurement, Flash cell evaluation, advanced WLR tests.

  • 4072B Advanced Parametric Tester [已停產] 4072B Advanced Parametric Tester [已停產] 

    4072B Advanced Parametric Tester [已停產]

    The 4072B Advanced Parametric Tester enables semiconductor manufacturers to dramatically reduce test time for capacitance measurements.

  • 4073A Ultra Advanced Parametric Tester [已停產] 4073A Ultra Advanced Parametric Tester [已停產] 

    4073A Ultra Advanced Parametric Tester [已停產]

    The 4073A has all of the features of the 4072A. It also incorporates a high-resolution SMU (HRSMU) option and advanced relay design that enable current measurement resolution down to 1fA.

  • 4073B Ultra Advanced Parametric Tester [已停產] 4073B Ultra Advanced Parametric Tester [已停產] 

    4073B Ultra Advanced Parametric Tester [已停產]

    The 4073B Ultra Advanced Parametric Tester enables advanced semiconductor manufacturers to dramatically reduce test time and to execute ultra-low current measurements.

  • 4075 Advanced DC/RF/Pulse Parametric Tester [已停產] 4075 Advanced DC/RF/Pulse Parametric Tester [已停產] 

    4075 Advanced DC/RF/Pulse Parametric Tester [已停產]

    Meets the DC parametric, RF parametric, high frequency CV and pulsed IV measurement requirements necessitated by 65 nanometer (and below) technologies in a production test environment.

  • 4076 Ultra Advanced DC/RF/Pulse Parametric Tester [已停產] 4076 Ultra Advanced DC/RF/Pulse Parametric Tester [已停產] 

    4076 Ultra Advanced DC/RF/Pulse Parametric Tester [已停產]

    Meets the DC parametric, RF parametric, high frequency CV and pulsed IV measurement requirements necessitated by 65 nanometer (and below) technologies in a production test environment.