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B2201A 14 通道低泄漏开关主机

出售方:

配置

价格: 中国

* 价格如有变更,恕不另行通知。 显示价格为厂商建议零售价(MSRP)。

主要特性与技术指标

一般特性

  • 通过指示灯显示继电器状态,可以快速验证和调试测量设置
  • 支持使用键盘或可选光笔在前面板上进行控制操作
  • Keysight EasyEXPERT 软件可以通过直观的 GUI 控制和自动执行开关设置
  • 优化的 CV 输入包括综合的 EasyEXPERT 软件电容补偿

测量能力

  • 使用 4156C、B1500A 或 E5270B HRSMU,通过开关可实现 10 毫微微安的测量分辨率
  • < 2 秒的瞬时电流稳定时间(< 300 fA)(10 V 输入步进)
  • 30 MHz 带宽(- 3 dB)
  • 为低电流(三轴)路径提供 50 T 欧姆的通道隔离

体系结构

  • 8 路低电流(三轴)输入和 6 路通用(同轴)输入
  • 模块化设计支持 x12、x24、x36 和 x48 三轴输出配置
  • 14 条内部路径(无多路复用的输入)
  • 兼容 Keysight B2220A 低泄漏探头卡接口

描述

本页内容:行业挑战 • 摘要 • 特性和优势 • 元器件 • 主要技术指标 • 相关是德产品

B2201A 可自动执行表征测试,从而降低测试成本,对半导体参数分析仪的测量性能只有轻微影响。它支持 4 SMU 完全 Kelvin 配置和电容表,并可在未来进行扩展。此外,它还具有 14 路输入,每路输入都使用唯一的内部测量路径,其中两路输入还具有特殊的电容测量补偿特性。它还支持脉冲发生器等仪器。用户可使用键盘或可选光笔通过前面板进行操控。

行业挑战

对半导体晶圆上的众多测试结构进行所有必要的参数测量,可能需要耗费大量时间和成本。随着最终用户设备的成本持续下降,甚至实验室表征环境也必须降低测试成本。使用包含半自动或全自动晶圆探头的开关矩阵,可以自动执行表征测试,在每次测试新模块时也无需操作人员手动复位探头。这样既缩短测试时间,又节省测试成本。

许多现有的开关矩阵都有内在的局限性。例如,许多开关矩阵会降低半导体参数分析仪的低电流测量性能,成为测量链中最薄弱的环节。如果内部路径数量不足,那么开关矩阵就无法支持 4 终端完全 Kelvin 测量和电容表,而且每次将测量从 IV 变成 CV 时都需要花很长时间手动改变电缆连接。最后,如果开关矩阵不能对电容测量结果进行补偿,以消除因路径长度而产生的测量失真,那么这些测量结果也将会是不准确的。

摘要

出色的开关矩阵性能,适中的价格

B2201A 14 通道低泄漏开关主机提供出色的低电流泄漏和电容测量性能,没有其他替代解决方案所具有的限制。能够支持 10 fA 测量,意味着它不会严重降低半导体参数分析仪的高性能。它的价格适中,可以为要求不是特别苛刻的测量环境提供经济高效的测量性能。输入数量足够多,则可以支持4-SMU 完全 Kelvin 配置。所有 14 路输入对应唯一的内部路径,因此可以同时使用。与其他同类解决方案不同,它可以避免每个通道的路径长度不同所产生的固有误差,确保电容测量结果不会出现失真;此外,系统提供了必要的参数和算法来补偿这些差异。它的模块化结构支持 12、24、36 或 48 路输出配置,使用起来具有极大的灵活性。30 MHz 带宽使它可以使用脉冲发生器等仪器。附加的 LED 显示屏和使用键盘或可选光笔进行操控的前面板,使操作人员可以非常灵活地进行操作。

  • 紧跟半导体参数分析仪性能的步伐
    一流的半导体参数分析仪已经达到新的性能水平。B2201A 开关矩阵能够支持 10 fA 测量分辨率,紧跟半导体参数分析仪性能的步伐,而不会严重降低测量性能。
  • 避免多路复用的测量限制
    避免花费很长时间手动切换 B2201A 的 14 条内部测量路径,因而延误测量进度。每路输入都有自己的内部路径,可以同时工作,避免因为在共享路径上多路复用输入所带来的限制。
  • 准确的电容测量
    特别是在测量电容时,电缆长度(包括矩阵中的路径)对测量结果有很大影响。通过使用针对电容测量优化过的两路 BNC 输入,B2201A 开关矩阵主机――与同类解决方案不同――可以校正因为矩阵内部路径长度而产生的误差,提供补偿参数以确保测量结果不失真。

特性和优势

特性优势
10 毫微微安(femtoamp)分辨率的电流测量能力开关矩阵不会影响半导体参数分析仪的测量性能。
8 路三轴输入和 6 路 BNC 输入支持 4 SMU 完全 Kelvin 配置和电容表,并留出 4 路 BNC 输入用于未来扩展;
14 条可同时使用的内部路径使您能够同时使用全部 8 路三轴输入和全部 6 路 BNC 输入。
电容测量补偿特性校正因为矩阵内部路径长度而产生的误差,使您可以通过开关矩阵准确测量电容。
LED 显示屏和可通过键盘或可选光笔进行操控的前面板通过显示矩阵继电器状态以及支持手动更改继电器状态,使您能够对测量结构进行离线调试。
30 MHz 带宽您可以通过 B2201A 开关使用脉冲发生器等仪器。

元器件

  • B2201A 14 通道低泄漏开关主机
  • B2211A 14 通道低泄漏开关模块

主要技术指标

B2201A
技术指标
端口数 
I-V 端口8 个三轴端口(包括 Guard 端口)
AUX 端口6 个 BNC 端口(2 个 CV 端口)
输出通道可使用三轴端口(包括 Guard 端口)、x12、x24、x36 和 x48 配置
插槽数4 个插槽,用于插入 48 毫米高的开关模块
B2211A
技术指标
最大额定电流 
I-V 端口1.0 A
AUX 端口0.5 A
最大额定电压 
I-V 端口(其他通道)200V
I-V 端口(通用)300V
AUX 端口(其他通道)100V
AUX 端口(通用)100V
通道隔离 
I-V 端口5 x 10^13(欧姆)
AUX 端口1 x 10^9(欧姆)
偏置电流(补充) 
I-V 端口50 fA
IM 噪声(RMS)(补充) 
I-V 端口5 fA
其他电容测量误差(补充< ± 1 % + 0.2 pF
带宽(--3 dB 时)30 MHz
稳定时间(补充)2.0 秒(300 fA 时)

相关是德产品