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10736A 三轴干涉仪

出售方:

配置

价格: 中国

* 价格如有变更,恕不另行通知。 显示价格为厂商建议零售价(MSRP)。

描述

Keysight 10736A 三轴干涉仪可用于需要线性和角度控制的多轴测量应用。 它在单一套件中结合了光具座功能、多个光束转向镜、分光镜以及三个干涉仪。 干涉仪把入射激光束分成三个光束,以便测量直线距离、倾斜和偏转或直线距离、摇摆和偏转。 三种线性测量可为两种角度测量提供基础。 固有的光束平行度确保三种测量基本上不存在余弦误差,同时保证倾斜和偏转测量的转角精度。 其它特征包括:

  • 高性能包装可节省设置时间,改善系统性能
  • 简单的多轴安装
  • 较高的角分辨率可实现更好的控制
  • 宽角度范围
  • 单片光器件可提供最高的机械稳定性
  • 预对准的光纤远程接收机支架
  • 参考光器件

10736A 包含 2 个剪切板,可创建 3 条平行光束路径、3 个角锥棱镜、1 个参考平面镜以及 2 个 1/4 波片。

10736A 选件 001 可将测量轴的方向转折。

除了测量光束图形之外,10736A 和 10735A 完全相同。

  • 应用: 3 种线性平面镜测量(沿 X 轴位移,沿 Z 轴偏转,沿 Y 轴倾斜)
  • 特点: 1 种线性平面镜测量和 2 种角度平面镜测量
  • 轴数: 3
  • 最大光束尺寸: 9 mm
  • 波束分离: 参见技术指标
  • 重量: 5.5 千克(12 磅 2.4 盎司)
  • 基本光学分辨率: λ/4(158.2 nm,6.2 µin)
  • 系统分辨率: 位移 λ/128(5 nm,0.2 µin),偏转 0.039 arcsec(0.19 µrad),倾斜 0.049 arcsec(0.24 µrad),以 32x 电子分辨率扩展为基础
  • 系统分辨率: 位移 λ/1024(0.62 nm,0.024 µin),偏转 0.0049 arcsec(0.024 µrad),倾斜 0.0061 arcsec(0.029 µrad),以 256x 电子分辨率扩展为基础
  • 系统分辨率: 位移 λ/4096(0.15 nm,0.006 µin),偏转 0.0012 arcsec(0.006 µrad),倾斜 0.0015 arcsec(0.007 µrad),以 1024x 电子分辨率扩展为基础
  • 反射镜: 10728A
  • 所用底座: 定制
  • 参考: 支持
  • 可调谐配置: 支持。 要求使用选件 001