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特点
Keysight 10719A 单轴差分干涉仪可在单轴和多轴测量应用中，执行差分线性测量或差分角测量。 线性测量将会测量两个对象之间的位移，例如工作台和光柱（optical column）或检测工具之间的位移。 10719A 还可测量俯仰角（pitch）或翻滚角（roll）。 当参考光束和测量光束测量同一个反射镜时，测量结果为一个角度。 10721A 对无效干涉仪位移（例如热膨胀）具有很高的抗扰度。 它是一种模块化的紧凑型设计，采用单片光学器件制成，机械稳定度大大增强。 它使用 3 mm 直径的小光束，有助于降低 Abbé 偏置误差。
10719A 包括一个剪切板，用于创建平行光束路径；一个逆向反射镜，用于控制光束路径；以及两个 1/4 波片。
在进行线性测量时，用户必须提供参考反射镜和测量反射镜。
在进行角位移测量时，用户必须提供一个反射镜，用于反射参考光束和测量光束。
参见用于双轴差分测量的 10721A。
- 应用：一种差分线性测量或一种角测量
- 独有的特性：差分
- 轴数：1
- 最大光束直径：3 mm
- 光束间距：19.05 mm（0.75 英寸）
- 重量：300 g（10.6 盎司）
- 基本光分辨率：λ/4（158.2 nm，6.2 µin），1.71 弧秒（8.3 µrad）
- 系统分辨率：λ/128（5 nm，0.2 µin），0.054 弧秒（0.26 µrad），使用 32 倍电子分辨率扩展
- 系统分辨率：λ/1024（0.62 nm，0.024 µin），0.007 弧秒（0.03 µrad），使用 256 倍电子分辨率扩展
- 反射镜：定制
- 使用的安装架座：定制
- 参考：有
- 可调谐配置：无
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