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10719A 单轴差分干涉仪

出售方:

配置

价格: 中国

* 价格如有变更,恕不另行通知。 显示价格为厂商建议零售价(MSRP)。

描述

Keysight 10719A 单轴差分干涉仪可用于单轴和多轴测量应用,以执行差分线性或差分角度测量。 该线性测量将会测量两个对象之间的位移,例如工作台和光柱(optical column)或检测工具。 10719A 还可测量倾斜(pitch)或横滚(roll)。 当参考光束和测量光束测量到相同平面镜时,测量结果为一个角度。 10721A 能够在很大程度上避免无效干涉仪位移(例如热膨胀)的干扰。 它是一种模块化的紧凑型设计,采用单片光学器件制成,可达到最大的机械稳定度。 它使用较小的 3 mm 光束,有助于降低 Abbé 偏置误差。

10719A 包括一个剪切板,用于创建平行光束路径;一个逆向反射镜,用于操纵光束路径;以及两个 1/4 波片。

对于线性测量,用户必须提供参考平面镜和测量平面镜。

对于角位移测量,用户必须提供一个平面镜,用于反射参考光束和测量光束。

参见用于双轴差分测量的 10721A。

  • 应用: 1 种差分线性或 1 种角测量
  • 迥然不同的新特性: 差分输出
  • 轴数: 1
  • 最大光束直径: 3 mm
  • 光束隔离: 19.05 mm(0.75 英寸)
  • 重量: 300 g(10.6 盎司)
  • 基本光分辨率: λ/4(158.2 nm,6.2 µin),1.71 弧秒(8.3 µrad)
  • 系统分辨率: λ/128(5 nm,0.2 µin),0.054 弧秒(0.26 µrad),使用 32 倍电子分辨率扩展
  • 系统分辨率: λ/1024(0.62 nm,0.024 µin),0.007 弧秒(0.03 µrad),使用 256 倍电子分辨率扩展
  • 反射镜: 定制
  • 使用的安装架座: 定制
  • 参考: 支持
  • 可调谐配置: 无