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Keysight 10715A 差分干涉仪能够在提供的参考平面镜和测量平面镜之间执行差分测量。 它提供出色的长期稳定性。 10715A 可最大限度减少死程（deadpath），并且由于通过干涉仪的整个光路都是共模的，所以它可消除测量中的热漂移。 它的测量分辨率是线性干涉仪或单光束干涉仪的两倍。
10715A 包括 3 个逆向反射镜、一个光束转向镜和两个 1/4 波片。 用户必须提供参考反射镜和测量反射镜。
10715A 选件 001 可用于要求干涉仪对光束进行调整的光学版图。
- 应用： 平面镜，高精度
- 迥然不同的新特性： 差分输出
- 轴数： 1
- 最大光束直径： 6 mm
- 光束隔离： 12.7 mm（0.5 英寸）
- 重量： 504 g（1 磅 1.8 盎司)
- 基本光分辨率： λ/4（158.2 nm，6.2 µin）
- 系统分辨率： λ/128（5 nm，0.2 µin），使用 32 倍电子分辨率扩展
- 系统分辨率： λ/1024（0.62 nm，0.024 µin），使用 256 倍电子分辨率扩展
- 反射镜： 10724A 或用户提供
- 使用的安装架座： 10711A
- 参考： 无
- 可调谐配置： 支持。 需要选件 001
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