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B1500A 半导体器件分析仪

Keysight B1500A 半导体器件分析仪是一款真正意义上的参数分析仪

  • Keysight B1500A 半导体器件分析仪(半导体参数分析仪/半导体表征系统)是器件表征的综合解决方案。
  • 支持基本的电流-电压(IV)和电容-电压(CV)测量以及业界领先的快速脉冲 IV/ 快速 IV / 瞬时 IV 测量,具备极高的测量可靠性
  • 嵌入式 Windows 7 和功能强大的 EasyEXPERT 软件借助先进的图形用户界面(GUI),可让您执行高效、深入、数据可恢复的器件表征。
  • 这款最佳表征解决方案可对器件、材料、半导体、有源/无源元件以及任意电气器件进行各种电气表征和评测。
  • 根据您的测试需求,模块化结构可升级至 10 插槽配置。

卓越的测量能力和极高的测量可靠性
Keysight B1500A 针对基础和高级器件表征提供以下功能。
 

测量功能 主要技术指标/特性 测量模块
电流/电压(IV)测量
  • 电源和测量范围高达 200 V/1 A
  • 最低测量分辨率为 0.1 fA / 0.5 µV
  • 针对基础和高级 IV 测量提供点测量、扫描测量等功能
B1511B /B1511B /B1511B  SMU(电源/测量单元)
准静态 CV(QS-CV)
  • 精确的准静态电容-电压(QS-CV)测量,具有泄露电流补偿
采样测量
  • 采样(时域)测量间隔为 100 µs
B1510A/B1511A/B1517A SMU(电源/测量单元)
脉冲测量 低至 500 µs
  • 在 500 µs 脉宽、2 μs 分辨率的条件下执行脉冲测量
低至 100 ns
  • 适用于脉冲 IV 和瞬时 IV 的超快速 IV 测量功能,例如 NBTI/PBTI、RTN(随机电报信号噪声)等
  • 脉冲测量,脉宽为 50 μs
  • 电源和测量范围高达 30 V / 1 A(0.1 A 直流)
  • 支持示波器视图
  • 利用 10 ns 编程分辨率生成波形
  • 同时执行高速 IV 测量(200 MSa/s,采样率为 5 ns)
  • 10V 峰峰值输出
  • 利用动态 SMU 技术,负载线不会影响脉冲 IV 测量的精度
B1514A 50 µs 脉冲 MCSMU
(中等电流电源/测量单元)
 
低至 10 ns
  • 适用于 高 k/SOI 脉冲 IV 的表征解决方案
  • 选通脉冲宽度是 10 ns 至 1 µs,上升和下降时间最小值为 2 ns

B1542A 10 ns 脉冲 IV 参数测试解决方案

脉冲生成
  • 高压输出可达 ±40 V,适用于非易失存储器测试
  • 为单通道提供二电平和三电平脉冲
  • 利用 10 ns 分辨率灵活地生成任意波形(任意线性波形生成功能)
  • 每个模块具有两个通道
B1525A HV-SPGU(高电压半导体脉冲发生器单元)
交流阻抗(CV)测量
  • 交流阻抗测量(C-V、C-f、C-t)
  • 频率范围 1 kHz 至 5 MHz
  • SMU 提供 25 V 内置直流偏置和 100 V 直流偏置
  • SCUU 能够快捷、精确地改变 IV 和 CV 自动连接
B1520A MFCMU(多频率电容测量单元)

在研发的各个阶段中(从探测到自动化)实现高效、数据可恢复的器件表征
- EasyEXPERT 软件在嵌入式 Windows 7 中运行
- 数百种测量程序库在需要时即可使用(应用测试)
-15 英寸触摸屏支持您在器件表征时采取直观的操作、分析与探测
- 自动数据记录特性支持测试数据和测试条件的恢复,可使您轻松地进行探测
- 利用曲线追踪(旋钮操作)和自动记录特性来实现实时交互表征

-EasyEXPERT 的曲线追踪仪测试模式通过旋钮来控制可变扫描,与传统的曲线追踪仪类似
-示波器视图能够显示施加到器件中的电压和电流波形,从而帮助用户优化测试条件、观察器件的瞬时现象
- 利用便捷的在线/离线测试环境完成测试开发与分析,从而最大限度地发挥仪器效用
 
                                              

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  • B1500A 半导体器件参数分析仪/半导体表征系统主机 B1500A 半导体器件参数分析仪/半导体表征系统主机 

    B1500A 半导体器件参数分析仪/半导体表征系统主机

    • 测量模块可升级至 10 插槽配置
    • EasyEXPERT group+ 软件在嵌入式 Windows 7 中运行
    • 数百种测量程序库在需要时即可使用
    • 15 英寸触摸屏支持您在器件表征时采取直观的操作、分析与探测
       

  • B1514A (B1500A-A1A, B1500AU-141) 50 µs 脉冲中等电流电源/测量单元(MCSMU) B1514A (B1500A-A1A, B1500AU-141) 50 µs 脉冲中等电流电源/测量单元(MCSMU) 

    B1514A (B1500A-A1A, B1500AU-141) 50 µs 脉冲中等电流电源/测量单元(MCSMU)

    • 宽脉冲范围可达 30 V / 1 A(0.1 A 直流)
    • 脉宽低至 50 µs,分辨率为 2 μs(比其它的 B1500A SMU 快 10 倍)
    • 示波器视图允许用户充满信心地验证脉冲测量设置,并快速轻松地优化参数
       

  • B1530A (B1500A-A30, B1500AU-030) 波形发生器/快速测量单元(WGFMU) B1530A (B1500A-A30, B1500AU-030) 波形发生器/快速测量单元(WGFMU) 

    B1530A (B1500A-A30, B1500AU-030) 波形发生器/快速测量单元(WGFMU)

    • 脉冲 IV 和瞬时 IV 测量具有高达 200 MSa/s 的速度
    • 可以生成任意波形,分辨率为 10 ns
    • 负载线不会影响脉冲 IV 测量的精度
    • 动态范围调节特性可实现更宽泛的电流范围
       

  • B1510A/B1511B/B1517A (B1500A-A10/A11/A17) 电源测量单元(SMU) B1510A/B1511B/B1517A (B1500A-A10/A11/A17) 电源测量单元(SMU) 

    B1510A/B1511B/B1517A (B1500A-A10/A11/A17) 电源测量单元(SMU)

    • 4 象限电源和测量功能可让您在低至 fA 的范围内进行精确的 IV 表征
    • 测量范围是 0.1 fA - 1 A / 0.5 µV - 200 V
    • 点测量、扫描测量、脉冲和采样测量
    • QS-CV 测量与泄露电流补偿
       

  • B1520A (B1500A-A20, B1500AU-020) 多频率电容测量单元(MFCMU) B1520A (B1500A-A20, B1500AU-020) 多频率电容测量单元(MFCMU) 

    B1520A (B1500A-A20, B1500AU-020) 多频率电容测量单元(MFCMU)

    • 支持多频率交流阻抗测量,适用于 CV、C-t和 C-f测量
    • 频率范围是 1 kHz ~ 5 MHz
    • SMU 和 SCUU 提供 25 V 内置直流偏置和 100 V 直流偏置
    • SCUU 可让您方便快速地执行 IV 和 CV 测量
       

  • B1525A (B1500A-A25, B1500AU-025) 高电压半导体脉冲发生器单元(HV-SPGU) B1525A (B1500A-A25, B1500AU-025) 高电压半导体脉冲发生器单元(HV-SPGU) 

    B1525A (B1500A-A25, B1500AU-025) 高电压半导体脉冲发生器单元(HV-SPGU)

    • 高压输出可达 ±40 V,适用于非易失存储器测试
    • 每通道支持二电平和三电平脉冲
    • 可以灵活地生成任意波形,分辨率为 10 ns
    • 每个模块具有两个通道
       

  • B1542A 10 ns 脉冲 IV 参数测试解决方案 B1542A 10 ns 脉冲 IV 参数测试解决方案 

    B1542A 10 ns 脉冲 IV 参数测试解决方案

    • 适用于 高 k/SOI 脉冲 IV 表征的最佳解决方案
    • 选通脉宽最小值是 10 ns,上升和下降时间为 2 ns
    • 1 µs 电流测量分辨率
    • 支持仪器:B1500A、E5270B、E5260A、E5262/63A、4155B/C 和 4156B/C