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B1500A 半导体器件参数分析仪和测量模块

Keysight B1500A 半导体器件分析仪是一款支持 IV、CV、脉冲/动态 IV 等特性表征的综合分析仪。作为是德科技精密型电流-电压分析仪系列中的一员,它在基础应用和尖端应用中都能执行全方位的表征。它提供了极其广泛的测量功能,包括器件、材料、半导体、有源/无源器件或几乎所有其他类型电子器件的电气表征和测试,可以实现无与伦比的测量可靠性和测量效率。此外,B1500A 的模块化体系结构和 10 个空闲插槽使您可以添加或升级测量模块,以适应不断变化的测量需求。

具有图形用户界面的 Keysight EasyEXPERT group+ 表征软件可以在 B1500A(配有 15 寸触摸屏)的嵌入式 Windows 7 平台上或在您的计算机上运行,更迅速地完成表征任务。在从测量设置和执行到结果分析和数据管理的整个表征过程中,它都支持通过交互式的手动操作或借助半自动晶圆探头的自动操作,在整个晶圆上实施高效和可重复的器件表征。EasyEXPERT group+ 配备数百种可以即时使用的测量(应用测试),使您可以快速而轻松地执行复杂的器件表征,并可以选择在每次测量结束后将测试条件和测量数据自动保存到独有的内置数据库(工作区)中,以确保不会遗失重要的信息和在日后能够重复执行该测量。凭借这些全面的测量功能,Keysight B1500A 提供了一款综合的器件表征解决方案。

B1500A 支持各种模块,因此您可以根据自己的测量需求在多达 10 个插槽中配置它们。标配的 SMU 模块使您能够以点测量、扫描测量和采样测量等模式执行各种 IV 测量。此外,SMU 还支持准静态 CV(QSCV)测量。MFCMU 模块支持轻松的电容测量,并通过选配的 SCUU 支持 IV/CV 切换。WGFMU 能够利用任意波形输出和快速数字化测量功能,在尖端应用中执行超快速的脉冲 IV 和动态 IV 测量。这些模块结合使用,可以满足各种应用的需求。

您可以在此处了解关于 B1500A 应用软件的更多信息。

  • B1500A 半导体器件参数分析仪/半导体表征系统主机 B1500A 半导体器件参数分析仪/半导体表征系统主机 

    B1500A 半导体器件参数分析仪/半导体表征系统主机

    • 测量模块可升级至 10 插槽配置
    • EasyEXPERT group+ 软件在嵌入式 Windows 7 中运行
    • 数百种测量程序库在需要时即可使用
    • 15 英寸触摸屏支持您在器件表征时采取直观的操作、分析与探测
       

  • B1514A (B1500A-A1A, B1500AU-141) 50 µs 脉冲中等电流电源/测量单元(MCSMU) B1514A (B1500A-A1A, B1500AU-141) 50 µs 脉冲中等电流电源/测量单元(MCSMU) 

    B1514A (B1500A-A1A, B1500AU-141) 50 µs 脉冲中等电流电源/测量单元(MCSMU)

    • 宽脉冲范围可达 30 V / 1 A(0.1 A 直流)
    • 脉宽低至 50 µs,分辨率为 2 μs(比其它的 B1500A SMU 快 10 倍)
    • 示波器视图允许用户充满信心地验证脉冲测量设置,并快速轻松地优化参数
       

  • B1530A (B1500A-A30, B1500AU-030) 波形发生器/快速测量单元(WGFMU) B1530A (B1500A-A30, B1500AU-030) 波形发生器/快速测量单元(WGFMU) 

    B1530A (B1500A-A30, B1500AU-030) 波形发生器/快速测量单元(WGFMU)

    • 脉冲 IV 和瞬时 IV 测量具有高达 200 MSa/s 的速度
    • 可以生成任意波形,分辨率为 10 ns
    • 负载线不会影响脉冲 IV 测量的精度
    • 动态范围调节特性可实现更宽泛的电流范围
       

  • B1510A/B1511B/B1517A (B1500A-A10/A11/A17) 电源测量单元(SMU) B1510A/B1511B/B1517A (B1500A-A10/A11/A17) 电源测量单元(SMU) 

    B1510A/B1511B/B1517A (B1500A-A10/A11/A17) 电源测量单元(SMU)

    • 4 象限电源和测量功能可让您在低至 fA 的范围内进行精确的 IV 表征
    • 测量范围是 0.1 fA - 1 A / 0.5 µV - 200 V
    • 点测量、扫描测量、脉冲和采样测量
    • QS-CV 测量与泄露电流补偿
       

  • B1520A (B1500A-A20, B1500AU-020) 多频率电容测量单元(MFCMU) B1520A (B1500A-A20, B1500AU-020) 多频率电容测量单元(MFCMU) 

    B1520A (B1500A-A20, B1500AU-020) 多频率电容测量单元(MFCMU)

    • 支持多频率交流阻抗测量,适用于 CV、C-t和 C-f测量
    • 频率范围是 1 kHz ~ 5 MHz
    • SMU 和 SCUU 提供 25 V 内置直流偏置和 100 V 直流偏置
    • SCUU 可让您方便快速地执行 IV 和 CV 测量
       

  • B1525A (B1500A-A25, B1500AU-025) 高电压半导体脉冲发生器单元(HV-SPGU) B1525A (B1500A-A25, B1500AU-025) 高电压半导体脉冲发生器单元(HV-SPGU) 

    B1525A (B1500A-A25, B1500AU-025) 高电压半导体脉冲发生器单元(HV-SPGU)

    • 高压输出可达 ±40 V,适用于非易失存储器测试
    • 每通道支持二电平和三电平脉冲
    • 可以灵活地生成任意波形,分辨率为 10 ns
    • 每个模块具有两个通道
       

  • B1542A 10 ns 脉冲 IV 参数测试解决方案 B1542A 10 ns 脉冲 IV 参数测试解决方案 

    B1542A 10 ns 脉冲 IV 参数测试解决方案

    • 适用于 高 k/SOI 脉冲 IV 表征的最佳解决方案
    • 选通脉宽最小值是 10 ns,上升和下降时间为 2 ns
    • 1 µs 电流测量分辨率
    • 支持仪器:B1500A、E5270B、E5260A、E5262/63A、4155B/C 和 4156B/C