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晶圆上测量

在对半导体器件进行精确的直流/CV(和射频)统计建模时,要求收集大量在不同温度条件下测得的晶圆上测量数据。 是德推荐使用 IC-CAP WaferPro 作为全套的直流/CV 和射频自动表征解决方案,帮助建模和器件工程师在不同温度条件下执行更有效的晶圆上测量。 全新的突破性解决方案以 IC-CAP 建模软件为基础,可以有效地控制直流/CV 分析仪、网络分析仪、探测器、开关矩阵、温度夹具,以及功能强大的 407x 和 408x 系列参数测试仪。

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  • W8501EP IC-CAP Core 环境 W8501EP IC-CAP Core 环境 

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    IC-CAP Core 环境提供数据管理、可视化和编程功能(使用 PEL), 包括 MultiPlot 与 GUI studio、数学变换和宏、SQL 数据库的链接。

  • W8510EP IC-CAP Wafer Professional 附加软件许可证 W8510EP IC-CAP Wafer Professional 附加软件许可证 

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    W8520EP IC-CAP 仪器连通性

    IC-CAP 能够控制所有的线性仪器: 直流、C-V、交流、时间和噪声。 包括用于直流分析仪的驱动器、C-V 仪表和阻抗分析仪、网络分析仪、示波器和动态信号分析仪。