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系列集成参数分析和表征环境(iPACE)

概要

Keysight 41000 系列提供最新的解决方案,用于弥补价格昂贵的生产级测试仪与用户创建的低性能仪器解决方案之间的差距。

  • 通过开关矩阵进行 1 fA 测量

Keysight 41000 系列支持工程师和科学家在研发实验室环境中进行晶圆表征,进而通过开关矩阵和探头卡进行精确测量,同时不会降低半导体参数分析仪的性能水平。 探头卡用探针针和晶圆均保持 1 fA 的分辨率。

B2200 和 B2201 低泄漏开关矩阵构成了 41000 系列解决方案的核心部分,支持对 1 fA 和 10 fA 电流分别进行测量。 结合使用 B2220 探头卡接口和是德先进的低泄漏探头卡专业技术,这一卓越测量性能便可发挥半导体参数分析仪(4155C、4156C 或 E5270B)的全部测量潜力。 这一集成将避免构建定制仪器解决方案的繁琐工作,并维持参数分析仪的性能标准。

  • 支持通过定位器进行 CV 和 IV 测量

在 41000 系列上市之前,使用定位器转换 CV 和 IV 测量需要人工断开和重新连接参数分析仪电缆和电容表电缆。 41000 系列提供已获专利的 E5288A 自动传感和开关单元(适用于 E5270B)参数分析仪和 B2200/B2201 开关矩阵,可让您通过若干个软件命令轻松地转换 CV 和 IV 测量。

  • 支持使用 4 个 SMU 进行全套 Kelvin 测量

已获专利的新型开关矩阵具备 14 路输入(8 路三轴输入和 6 路 BNC 输入)。 每个输入对应唯一的内部路径,无需使用多路复用输入即可提供最高的灵活性。 8 路三轴输入支持使用 4 个 SMU 进行全套 Kelvin 测量(拉力和传感)。在相同的设置下,两路专用 BNC 输入可用于 CV 测量,其余 4 路 BNC 输入可为未来扩展提供极大的灵活性。 这一自动化流程显著提高了测试效率。

  • 支持使用内置补偿进行 CV 测量

41000 系列型号 200、300 和 400 均使用 B2200 和 B2201 开关矩阵。该开关矩阵针对 CV 测量数据提供内置补偿特性。

特性和优势

特性 优势
集成的开关矩阵、探头卡接口和探头卡 支持自动执行晶圆表征,且不会降低半导体参数分析仪的 1 fA 测量性能。 详情
B2200 和 B2201 开关矩阵具备 8 路三轴输入和 6 路 BNC 输入 支持利用所有半导体参数分析仪的测量资源。 详情
自动传感单元(ASU) 轻松转换 CV 和 IV 测量;无需更改布线或移动到另外的探针台;100 aA 的分辨率
全面、完整的解决方案 专为晶圆表征环境而优化,是更加简单、更加经济的替代解决方案

元器件

  • 4155C、4156C 或 E5270B 半导体参数分析仪
  • E5288A 自动传感开关单元(适用于 E5270B)
  • B2200A/B2201A 低泄漏开关矩阵
  • B2220A 晶圆探头接口(24 针或 48 针)
  • 1.6 m 机架,带有 PDU 和 EMO(PDU 和 EMO 可选)
  • E4980A 电容表(可选)

选件

41000 型号 100:超精密(0.1 fA/0.5µV)CV/IV 测量

41000 型号 200:精密(1 fA/0.5µV)CV/IV 测量

°分析仪选件(4155C、4156C 和 5270B)

°E4980A 电容表(可选)

°PDU/EMO(可选)

41000 型号 300:1 fA/0.5µV 通用 CV/IV 测量
°分析仪选件(4156C 或 5270B)仅适用于型号 400
°探头卡 I/F 针(24 或 48)
°Kelvin 通道数(0-8)
°E4980A 电容表(可选)
°PDU/EMO(可选)

41000 型号 400:10 fA/0.5µV 通用 CV/IV 测量
°分析仪选件(4155C、4156C 或 5270B)仅适用于型号 400
°探头卡 I/F 针(24 或 48)
°Kelvin 通道数(0-8)
°E4980A 电容表(可选)
°PDU/EMO(可选)

主要技术指标

   
电流测量解决方案(型号 100) 0.1 fA(100 aA)
电流测量解决方案(型号 200、300) 1.0 fA
电流测量解决方案(型号 400) 10.0 fA
电压测量解决方案
(所有基于 4155C 和 4156C 选件的型号)
0.2 mV
电压测量解决方案
(所有基于 E5270B HRSMU 和 MPSMU 选件的型号)
0.5 mV
探头卡 I/F 针 24 或 48
Kelvin 通道 0 至 4
电容测量(可选) 2MHz(E4980A)
PDU 电压(可选)  

合作伙伴

下列探头卡供应商经是德认证,可提供低泄漏、直接对接的探头卡。探头卡可与 41000 系列的 1 fA 版本(选件 300)结合使用:

  • 日本 JEM
  • 日本 MJC 

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