E5270B Mainframe para medições de precisão, 8 slots

Características gerais

• Testes paramétricos CC de alta velocidade
• 8 slots para módulos plug-in
• Código compatível com 4142B
• Medições básicas e simples de IV com Desktop EasyEXPERT

Recursos de medição

• Resolução de medição de 0,5 mV e 0,1 fA (HRSMU + ASU)
• Saída de ±100 V e ±100 mA (MPSMU, HRSMU)
• Saída de ±200 V e ±1 A (HPSMU)
• Unidade de aterramento de 4 A
   

O E5270B é uma solução flexível, expansível e atualizável para caracterização de semicondutores, com resolução de tensão até 0,5 mV e resolução de corrente até 0,1 fA. Há três tipos de unidades de alimentação e medição (SMU) diferentes para atender a uma variedade de desafios em testes paramétricos: uma SMU de potência média (MPSMU), uma SMU de alta potência (HPSMU) e uma SMU com alta resolução (HRSMU). Uma unidade de comutação com sensibilidade atto (ASU) opcional opera com a HRSMU para oferecer 100 aA de resolução de medição de corrente. A ASU possibilita a comutação entre a medição de IV, baseada na SMU, e a medição de CV, baseada no medidor de capacitância, sem ter quer alterar nenhum cabo. A Keysight também disponibiliza o driver plug & play padrão da indústria como uma ajuda acessível para programação quando você usa seu próprio software de teste, assim como comandos do conjunto de instruções de teste que são compatíveis com os algoritmos de teste da série 4070.

Podem ser feitas medições básicas e simples de IV com a versão 4.0 ou mais atual do software Desktop EasyEXPERT. Funções limitadas. O Desktop EasyEXPERT mais recente pode ser baixado em “Produtos relacionados”, na aba “Opções e acessórios”, gratuitamente.

Desafios da indústria

Engenheiros e cientistas que trabalham com dispositivos semicondutores atuais e futuros enfrentam diversos desafios com as medições paramétricas:

• Reduzir o custo dos testes. Soluções flexíveis e expansíveis que possibilitam a customização garantem que o equipamento de medição não ficará obsoleto.
• Medições precisas e ultrabaixas de corrente e tensão. Certas estruturas exigem resolução de corrente < 1 fA e/ou resolução de tensão < 1 mV.
• Medições de capacitância-tensão (CV) e corrente-tensão (IV). Ambas as medições são necessárias para caracterização de dispositivos semicondutores, mas é difícil comutar entre elas (principalmente usando posicionadores em um wafer prober).

Resumo

Resolve os maiores desafios das medições paramétricas

Para engenheiros e cientistas que trabalham com tecnologias atuais e futuras de processamento de semicondutores, o E5270B é uma solução que preenche os requisitos e diminui o custo dos testes. A ampla gama de módulos disponíveis e recursos de medição avançados é uma solução complete para medição e análise paramétricas. São fornecidos um driver plug & play para VXI e comandos TIS para ajudar clientes que escolherem utilizar seu próprio software, em vez do software oferecido pela Keysight, com a programação.

Ao contrário de soluções que combinam o controlador do sistema e os recursos de medição, O E5270B lhe dá liberdade para gerenciar esses recursos separadamente, evitando, assim o problema custoso de quando um controlado se torna obsoleto antes de outros elementos. O E5270B pode ser controlado por ambientes operacionais MS Windows, UNIX ou até mesmo LINUX. Já que você pode atualizar o hardware e o software do controlador do sistema e continuar usando seu instrumento, seu investimento fica protegido contra alterações tecnológicas imprevisíveis.

• Medição de correntes ultrabaixas sem pré-amplificadores externos e inconvenientes
  A HRSMU E5270B tem resolução de medição de 1 fA sem a necessidade de pré-amplificadores inconvenientes, oferecendo uma solução extremamente eficiente para situações que não requerem medição de correntes ultrabaixas. Essa capacidade inata permite que você lide com os desafios de medição encontrados na maioria dos dispositivos atuais e futuros. A HRSMU (e MPSMU reprojetada) também oferece resolução de tensão até 0,5 mV. A HRSMU (assim como a MPSMU reprojetada) também suporta as novas faixas de medição de 0,5 V e 5 V, o que melhora a precisão de medição de transistores modernos com menor tensão. Recursos avançados de medição incluem: modo de varredura multicanais com testes paralelos, busca linear e binária, gestão de escala e automonitoramento do valor da alimentação.
• Flexibilidade para oferecer medições estáveis de 100 aA
  A HRSMU aceita uma unidade de comutação com sensibilidade atto (ASU) opcional, que aumenta a resolução da medição de corrente até 100 aA. Isto é inestimável para certos requisitos extremos de caracterização, como teste de vazamento de célula de memória. Além disso, a ASU possibilita que você faça medições de tensão e forneça tanto tensão e corrente até os limites da especificação da HRSMU.
• Alterne entre medições de CV e IV sem desperdiçar tempo trocando cabos
  A ASU permite a comutação entre medições de 100 aA e medições precisas de capacitância sem alterar o cabeamento. A ASU inclui duas entradas BNC que são compatíveis com as saídas do medidor de capacitância. Comandos simples de software permite que você comute entre medições baseadas em SMU (IV) e medições baseadas no medidor de capacitância (CV) sem ter que trocar cabos. Você também pode usar as entradas BNC com outros instrumentos, como um voltímetro digital (DVM) ou uma unidade geradora de pulsos (PGU). Não importa a configuração, a ASU tem melhor desempenho de comutação de medição do que uma matriz de comutação externa, e é mais fácil de usar.
• Uma alternativa acessível que aproveita o seu próprio software de teste
  A Keysight fornece um driver plug & play para VXI, uma interface de programação de alto nível que economiza tempo, pois os programadores não precisam aprender a programação detalhada do instrumento. Além disso, a interface do TIS (conjunto de instruções de teste) possibilita que o código desenvolvido para o laboratório seja usado na produção. Especificamente, o TIS permite que você escreva algoritmos para transferência subsequente do ambiente de teste de produção para o Keysight 4070.

Características e benefícios

Componentes

• E5270B Mainframe para medições de precisão
• E5280B Unidade de alimentação e medição de alta potência (HPSMU)
• E5281B Unidade de alimentação e medição de potência média (MPSMU)
• E5287A Unidade de alimentação e medição de alta resolução (HRSMU)
• E5288A Unidade de comutação com sensibilidade atto (ASU)
• Cabos e acessórios
• Manual em CD-ROM
• Software em CD-ROM (incluindo driver plug & play para VXI e biblioteca TIS para E5270B)

Principais especificações

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