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5517FL 레이저 헤드
키사이트 5517FL은 주로 반도체 리소그래피 및 평판 분야와 같이 모션 속도가 더 빠른 VME 및 PC 기반 레이저 간섭계 시스템에 사용됩니다.
주요 특징
일반
- 최대 속도(선형 옵틱 포함): 2 m/s
- 레퍼런스 주파수: >= 7.0 MHz; 옵션 300: 7.2 MHz 및 9 mm 이용 가능
- 무게: 3.2 kg(7파운드)
- 예열 시간: 45분(팬과 배기구가 통풍 커버에 연결된 경우)
레이저 빔
- 직경: 6 mm; 옵션 009: 9 mm 이용 가능
- 최소 출력 전력: 65 µW(3년 후 50 µW)
- 최대 출력 전력: 1 mW
- 빔 높이: 80.8 ± 1.0 mm
입력 전력 필요량
- +15 V ± 0.3 V(최대 2.2 A에서)
- -15 V ± 0.3 V(최대 0.03 A에서)
키사이트 5517FL은 주로 반도체 리소그래피 및 평판 분야와 같이 모션 속도가 더 빠른 VME 및 PC 기반 레이저 간섭계 시스템에 사용됩니다. 맞춤 요구 사항은 키사이트에 문의하십시오.
레이저 간섭계 위치 측정 시스템에 대해 자세히 알아보십시오.
주요 사양
Beam height (mm)
80.8
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
2152**
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
> 65
Reference frequency (MHz)
>= 7.0
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min)
90 (*45)
Beam height (mm)
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
Reference frequency (MHz)
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min)
80.8
2152**
> 65
>= 7.0
90 (*45)
더 보기
Beam height (mm):
80.8
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used:
2152**
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number:
> 65
Reference frequency (MHz):
>= 7.0
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min):
90 (*45)
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