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5517DL 레이저 헤드
키사이트 5517DL은 주로 반도체 리소그래피 및 평판 분야와 같이 모션 속도가 더 빠른 VME 및 PC 기반 레이저 간섭계 시스템에 사용됩니다.
주요 특징
일반
- 선형 옵틱 최대 속도: 1.2 m/s
- 레퍼런스 주파수: >= 4.4 MHz; 옵션 300: 5 MHz 사용 가능
- 무게: 3.2 kg (7 lb)
- 예열 시간: 통기 커버에 팬과 배기 장치가 연결된 경우 45분
레이저 빔
- 직경: 6 mm; 옵션 009: 9 mm 사용 가능
- 최소 출력 전력: 180 µW(3년 후 120 µW); 옵션 300: 80 uW(3년 후 50 uW)
- 최대 출력 전력: 1 mW; 옵션 300: 220 uW
- 빔 높이: 80.8 ± 1.0 mm
입력 전력 요구 사항
- +15 V ± 0.3 V, 최대 3.0 A
- -15 V ± 0.3 V, 최대 0.3 A
키사이트 5517DL은 주로 반도체 리소그래피 및 평판 분야와 같이 모션 속도가 더 빠른 VME 및 PC 기반 레이저 간섭계 시스템에 사용됩니다. 맞춤형 요구 사항은 키사이트에 문의하십시오.
레이저 간섭계 위치 측정 시스템에 대해 자세히 알아보십시오.
주요 사양
Beam height (mm)
80.8
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
1329**
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
> 180
Reference frequency (MHz)
>= 4.4
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min)
90 (*45)
Beam height (mm)
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
Reference frequency (MHz)
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min)
80.8
1329**
> 180
>= 4.4
90 (*45)
더 보기
Beam height (mm):
80.8
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used:
1329**
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number:
> 180
Reference frequency (MHz):
>= 4.4
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min):
90 (*45)
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