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10897D 고분해능 VMEbus 레이저 축 보드
10897D 고분해능 VMEbus 레이저 축 보드는 고분해능 간섭계로 최대 0.3 nm까지 우수한 분해능을 제공합니다.
주요 특징
일반
- 보드당 측정 채널 1개
- 시스템당 최대 7개의 보드
- 36비트 2의 보수
- 고분해능 옵틱 사용으로 최대 0.3 nm의 분해능
- 선형 간섭계 균형 조정 속도(5.8 MHz 분리): 1.75 m/s
평면 미러 옵틱을 사용한 작동
- 분해능: 0.6 nm
- 작동 범위: ± 10.6 m
타이밍
- 위치 갱신 속도: 10 MHz
- 백플레인에서의 데이터 전속 속도: 100 kHz 이상
- 다중 보드 동기화: ± 2 ns
10897D 고분해능 VMEbus 레이저 축 보드는 고분해능 간섭계로 최대 0.3 nm까지 우수한 분해능을 제공합니다. 데이터 에이지 불확실도가 대폭 감소해 이동하는 시스템에 대한 매우 정확한 측정과 제어가 가능합니다.
매우 큰 데이터 전송 속도가 고대역폭과 고성능 폐쇄 루프 어플리케이션을 보완합니다. 적절한 레이저 및 옵틱 콤포넌트를 사용해서 구성되는 10897D는 동적 측정을 위한 탁월한 포지셔닝 정확도를 제공합니다.
주요 사양
Bus
VME
Max Data rate for direct hardware outputs (kHz)
10000
Max Data rate over bus (kHz)
100
Number of Axes per board
1
Plane Mirror (PM) Resolution (nm)
0.6
System PM velocity limit (mm/s) * depends on laser head, axis board and receiver capability
± 790*
Bus
Max Data rate for direct hardware outputs (kHz)
Max Data rate over bus (kHz)
Number of Axes per board
Plane Mirror (PM) Resolution (nm)
System PM velocity limit (mm/s) * depends on laser head, axis board and receiver capability
VME
10000
100
1
0.6
± 790*
더 보기
Bus:
VME
Max Data rate for direct hardware outputs (kHz):
10000
Max Data rate over bus (kHz):
100
Number of Axes per board:
1
Plane Mirror (PM) Resolution (nm):
0.6
System PM velocity limit (mm/s) * depends on laser head, axis board and receiver capability:
± 790*
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