주요 특징

 최대 범위

  • 최대 15 m(50 ft)

정확도

  • 표시된 값 기준 ±0.2%

분해능(피트 간격 기준)

  • 0.002 μm(2인치)
  • 0.003 μm(4인치)
  • 0.005 μm(6인치)

기준면 정확도

표면 플레이트 평탄도 측정값의 불확실도는 아래 값으로 나뉘는 2개의 병렬 평면과 관련이 있습니다.

  • 미터법 단위 모드: 0.03 M2 µm, M = 대각선 평면 길이(단위: 미터)
  • 야드파운드법 모드: 0.12 F2 µin, F = 대각선 평면 길이(단위: 피트)

키사이트 55282A 평탄도 액세서리 키트를 55281A 각도 광학 키트와 함께 사용하면 5530 레이저 교정 시스템이 평탄도 및 직진도 측정을 수행할 수 있습니다.

55282A 평탄도 액세서리 키트는 10759A 풋 스페이스 키트와 2개의 10773A 평탄도 미러로 구성되어 있습니다. 풋 스페이스 키트는 3개의 정밀 베이스플레이트를 제공하며 각 패드 간격이 50.8 mm(2인치), 101.6 mm(4인치), 152.4 mm(6인치)이므로 플레이트 교정에 필요한 그리드 설정 및 데이터 수집 시간이 최소화됩니다. 평탄도 미러는 100%의 반사율을 제공하며 들어오는 레이저 빔의 방향을 90도 회전시킵니다.

55282A 평탄도 액세서리 키트는 측정 옵틱 제품군의 한 구성요소이며, 이 제품군은 물리적 레이아웃 및 각 어플리케이션의 측정 요구사항에 대해 간섭계 시스템을 조정합니다. 올바른 레이저 헤드와 시스템 전자 장치로 구성하면 해당 옵틱은 제품 품질을 개선하고 수율을 향상시키고 정밀 제품의 제조를 가능하게 만드는 정밀 포지셔닝 또는 교정 시스템의 일부가 됩니다. 

  • 미러 마운트와 보다 쉬운 표면 플레이트 교정을 위해 회전 고리가 부착되어 있는 베이스플레이트
  • 일반적인 오토콜리메이터 및 레벨과 비교했을 때 더 빠른 측정 및 분석, 더 뛰어난 정확도 및 반복도
  • 플레이트 표면에는 발열 개체가 존재하지 않습니다.
  • 5530 레이저 교정 시스템을 비롯해 다양한 키사이트 시스템에서 사용할 수 있습니다.
더 보기
55282A Flatness Accessory Kit

55282A에 관심이 있으신가요?

다른 도움이 필요하십니까?