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10719A 1축 차동 간섭계
키사이트 10719A 1축 차동 간섭계는 단일 축 및 다중 축 분야에 사용하기 적합한 차동 선형 또는 각도 측정을 수행합니다.
주요 특징
키사이트 10719A 1축 차동 간섭계는 단일 축 및 다중 축 분야에 사용하기 적합한 차동 선형 또는 각도 측정을 수행합니다. 선형 측정은 스테이지와 광 컬럼 또는 검사 도구와 같은 두 물체 사이 변위를 측정합니다. 10719A는 또한 피치 또는 롤을 측정합니다. 각도는 기준 빔과 측정 빔이 동일한 미러를 측정할 때 측정됩니다. 10721A는 열 팽창과 같은 원치 않는 간섭계 변위에 대한 면역성이 뛰어납니다. 이 제품은 기계적 안정성이 극대화될 수 있도록 모노리식 옵틱이 있는 모듈식 소형 설계입니다. 작은 3 mm 빔을 사용하면 Abbé 오프셋 오차를 줄이는 데 도움이 됩니다.
10719A는 병렬 빔 경로를 생성하는 전단판, 빔 경로를 조작하는 역반사기 하나, 사분의일 파장판 두 개를 포함합니다.
선형 측정 시 사용자는 기준 미러와 측정 미러를 모두 제공해야 합니다.
각도 변위의 경우 사용자가 기준 빔과 측정 빔 모두를 반영하는 하나의 미러를 제공해야 합니다.
2-축 차동 측정은 10721A를 참조하십시오.
- 응용 분야: 하나의 차동 선형 측정 또는 하나의 각도 측정
- 특별한 특징: 차동
- 축 수: 1개
- 최대 빔 크기: 3 mm
- 빔 분리: 19.05 mm(0.75인치)
- 무게: 300 g(10.6온스)
- 기초 광학 분할: λ/4(158.2 nm, 6.2 µin), 1.71 arcsec(8.3 µrad)
- 시스템 분해능: λ/128(5 nm, 0.2 µin), 0.054 arcsec(0.26 µrad), 32x 전자 분해능 확장 기준
- 시스템 분해능: λ/1024(0.62 nm, 0.024 µin), 0.007 arcsec(0.03 µrad), 256x 전자 분해능 확장 기준
- 반사기: 맞춤형
- 사용된 마운트: 맞춤형
- 레퍼런스: 예
- 튜닝된 구성: 아니요
자세한 내용은 레이저 간섭계 위치 측정 시스템을 참조하십시오.
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