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10716A 고분해능 간섭계
키사이트 10716A 고분해능 간섭계는 정밀 X-Y 스테이지와 같은 단축 및 다축 분야에 사용됩니다.
주요 특징
키사이트 10716A 고분해능 간섭계는 정밀 X-Y 스테이지와 같은 단축 및 다축 분야에 사용됩니다. 10716A는 분해능이 기존 평면 미러 간섭계의 두 배이며 10706B 고안정성 평면 미러 간섭계와 동일한 뛰어난 열적 안정성을 제공합니다. 측정 드리프트가 일반적으로 기존 평면 미러 간섭계의 ½입니다. 이러한 특징 덕분에 정확도와 반복도 및 열적 안정성이 개선됩니다. 하지만 슬루율은 절반에 불과합니다.
10716A는 레퍼런스용 10723A 고안정성 어댑터(고반사기와 1/4 파장판으로 구성) 1개, 빔 경로 조작을 위한 역반사체 2개, 빔 벤더 1개 및 1/4 파장판 1개를 포함합니다. 사용자는 10724A 평면 미러 반사기와 같은 측정 미러를 준비해야 합니다.
간섭계가 빔을 돌려야 하는 옵티컬 레이아웃에 10716A 옵션 001을 사용할 수 있습니다.
- 응용 분야: 평면 미러, 고분해능
- 주요 특징: 높은 분해능
- 축 수: 1개
- 최대 빔 크기: 6 mm
- 빔 간격: 12.7 mm(0.5인치)
- 무게: 502 g(1파운드 1.7온스)
- 기본 광 분해능: λ/8(79.1 nm, 3.1 µin)
- 시스템 분해능: λ/256(2.5 nm, 0.1 µin), 32x 전자 분해능 확장 사용 기준
- 시스템 분해능: λ/2048(0.31 nm, 0.012 µin), 256x 전자 분해능 확장 사용 기준
- 반사기: 10724A 또는 사용자 제공
- 사용된 마운트: 10711A
- 레퍼런스: 없음
- 돌려진 구성: 예. 옵션 001 필요
레이저 간섭계 위치 측정 시스템에 대해 자세히 알아보십시오.
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