무엇을 찾고 있습니까?
과제
반도체 웨이퍼의 수많은 테스트 구조에 필요한 파라메트릭 측정 작업은 시간과 비용이 많이 소요되는 공정입니다. 최종 사용자 디바이스 비용이 계속 하락 중이므로 실험실 특성화 환경에서 테스트 비용도 줄여야 합니다.
반자동 또는 전자동 웨이퍼 프로버와 스위칭 매트릭스를 사용하면 특성화 테스트를 자동화할 수 있으므로 새 모듈에 테스트가 필요할 때마다 작업자가 수동으로 프로브 위치를 변경할 필요가 없게 됩니다.
유연한 스위칭 매트릭스 옵션 제공
다른 것은 모두 제외하고 테스트 요구 조건에 필요한 기능만을 선택할 수 있습니다. 이 솔루션은 현재 측정 분해능 및 입력/출력 구성에 대한 여러 가지 옵션을 제공합니다. 또한 매트릭스의 내부 경로 길이로 인해 생성되는 커패시턴스 측정 왜곡을 보상하는 강력한 기능도 포함하고 있습니다.
가장 적합한 측정 분해능 선택
1 fA와 10 fA 전류 측정 분해능 중 하나를 선택하면 스위칭 매트릭스가 반도체 파라미터 분석기의 기능과 속도를 맞추며, 신호 누출로 인한 측정 성능 손실은 발생하지 않습니다.
유연한 입력 및 출력 구성
비Kelvin 측정을 위한 비용 효율적인 측정 솔루션부터 최대 4-SMU, 풀 Kelvin 측정 구성까지 광범위한 비용 및 성능 요건에 따라 사용 가능한 다양한 옵션이 있습니다. 다양한 옵션 중에서 측정 요구를 충족하는 출력 채널 구성과 카드 유형을 선택할 수 있습니다.
왜곡 없이 정확한 커패시턴스 측정
키사이트의 스위칭 지표에는 매트릭스의 내부 경로 길이로 인해 발생하는 오류를 수정하는 커패시턴스 측정 보상 기능이 있습니다. 이 솔루션은 보상 파라미터를 제공하기 위해 스위칭 매트릭스를 통해 정확한 커패시턴스 측정을 수행함으로써 왜곡되지 않은 측정 결과를 산출할 수 있도록 지원합니다.
적합한 모델 찾기
특집 리소스
다른 도움이 필요하십니까?
