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C1280A ASUR 並列デバイスの信頼性 (ASUR PDR)

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概要

近代製造における信頼性試験とパラメトリック試験のための
優れたコスト効率と拡張性に富むシステム

Keysight の先進の拡張性に富む統合された信頼性 (ASUR) 試験ファミリは、異なるニーズ、予算、経験、計画を見越して、広範なソリューションを用意しています。単一デバイスの信頼性 (ASUR SDR) 製品は、1 度に 1 デバイスの信頼性試験をおこないます。実証済みの信頼性試験アルゴリズムを使い、最新の測定器を投入した PC と測定器ベースのソリューションです。一方、この ASUR PDR は、複数の試験サイトで並列試験をおこないます。高性能, 低価格、加速信頼性試験およびパラメトリック試験を特長とする測定器ベースのソリューションです。加速信頼性試験は、実証済みの Core Wafer Systems PDQ-WLR の加速技法を取り入れています。 ASUR PDR は、1 つのハードウェア、1 つのソフトウェアで測定器からシステム・テスタまで、オンウェハーからパッケージまで拡張できる ASUR の一つです。

お客様が望む測定を実現

ASUR PDR は、並列複数サイトにおける長期信頼性試験ができます。オン・ウェハーまたはパッケージされたデバイスの DC/AC/パルスによる絶縁膜の経時破壊 (TDDB)、バイアス温度ストレス (BTS)、ホット・キャリア注入 (HCI)、負/正バイアス温度不安定性 (N/PBTI)、エレクトロマイグレーション (EM) 試験ができます。斬新な特長として、先進の材料に発見された貴重な現象や効果の検出が挙げられます。たとえば、高-k/低-k 誘電体や銅と遷移シリサイド・バリアの金属化のような効果や作用が検出できます。誘電体信頼性 ASUR PDR では、先進の適応型スキャンニングと特化した故障検出法を使うことができます。特化した故障検出法により、関連の動作領域に照準を合わせ、徐々に進む破壊を確認することができます。BTI では、ASUR PDR は、素早く測定を実行して適切に検出し、弛緩効果を回避します。

確信の持てる信頼性試験

ASUR の中の JEDEC 標準の信頼性試験アルゴリズムは 5 代目です。このスイートは、完全に試験され、10 年を越えるフィールドにおける経験と検証に支えられています。

  • 精密なアーキテクチュアと拡張性に富む試験
  • Keysight WLR テクノロジー DNA 内蔵]
  • 優れた現象検出能力
  • ビジネス判断のタイミング改善
  • CWS PDQ-WLR アルゴリズム
  • DC および AC における信頼性試験

DC モジュール

  • エレクトロマイグレーション (EM)
  • バイアス温度ストレス (BTS)
  • ゲート酸化物の完全性 (GOI)
  • ホット・キャリア注入 (HCI)
  • バイアス温度不安定性 (BTI、etc.)

AC モジュール

  • AC 絶縁膜の経時破壊 (AC TDDB)
  • AC バイアス温度不安定性 (AC BTI)
  • AC ホット・キャリア注入 (AC HCI)
  • ダブル・パルスド AC (AC HCI +NBTI)

サポートされるキーサイトの測定器:

  • Keysight E5250、B2200、B2201 スイッチ・マトリックス
  • Keysight 81110A、8114A パルス発生器
  • Keysight 4284A CV メータ
  • Keysight 4294A インピーダンス・アナライザ
  • Keysight E5288A ASU (アット・センス・ユニット)
  • Keysight 41000-400 ~ 41000-100 シリーズのシステム
  • Keysight パワー・サプライ

その他の特長

  • シングル・タッチで加速係数を取得
  • 休み無しにもっと測定
  • パー・ピン機能が素早く稀な振る舞いでも補足
  • 空間マッピングされたウェハーの信頼性データ
  • オンウェハー・スループットの経済分析
  • Core Wafer Systems PDQ-WLR アルゴリズム
  • DC およびパルスによる信頼性試験