検索された製品ページを表示しています その他の検索結果:

 

お問い合わせ窓口

10897C 高分解能 VMEbus レーザ・アクシス・ボード

販売/サポート: 販売・サポート終了製品 | 利用可能なサポートの確認
販売終了

概要

Keysight 10897C VMEbus レーザ・アクシス・ボードは、市販のポジションニング・システムでは最高の測定分解能を有します。最高分解能 0.3 nm により、IC 製造装置のような先進の製品において、超精密の位置情報および距離情報を提供します。10897C は、0.7 m/s 平面鏡スルー・レートに等価な周波数で試験されています。

10897C は、レジスタ毎にプログラム可能なポジション・アクシス・ボードです。位置情報は、波長の分数で表した 36-ビットのポジション・ワードで提供されます。そのワードは、VMEbus 上で読むことができ、また、P 2 コネクタの A および C 列上のハードウェア出力からリアルタイムで得ることもできます。ひじょうに高いデータ速度を有し、広帯域高性能の閉ループ・アプリケーションに適します。レーザおよび光コンポーネントを適切に組合せることにより、10897C はダイナミック測定において卓越した確度を発揮します。

VMEbus 位置出力

  • データ・フォーマット
    単位: 波長の分数
    2 の補数: 35-ビットの中から 32-ビットを選んで読む
    正論理
  • バック・プレーンのデータ速度: >100 kHz
  • サンプル・データ・エイジ
    固定: 同期サンプル動作の後、位置レジスタの中の値はサンプル動作が開始される前の約 X-ns に発生した実際の位置を反映します。 X-ns は、290 ns と 790 ns のいずれかをユーザが選択できます。
  • サンプル遅延: 位置レジスタは、サンプル遅延レジスタ・ビットを経て、ハードウェアのサンプル動作の後 100 ns または 600 ns に読み取られます。

P 2 コネクタのハードウェア位置出力

  • データ・エイジ
    固定: ハードウェア出力ライン上のデータは、10 MHz クロックの次の立上がりエッジの前の約 1.2 μs に発生した位置を反映します。

一般仕様

  • VME 適合
    A 16 データ転送サイクル
    D 16 データ転送サイクル
    A 24 データ転送サイクル
    D 32 データ転送サイクル
    D 08 (O) 割り込み認識サイクル
  • 所用電源
    5 Vdc + 0.25 V/-0.125 V (<3.5 A にて)
    +12 V +/-0.5 V (<0.1 A にて)
    -12 V +/-0.5 V (<0.025 A にて)
  • 空冷要件:
    19-直線メートル/分 (0-40 ℃ 動作にて)
    76-直線メートル/分 (0-55 ℃ 動作にて)

その他

  • データ・エージの曖昧さの減少がダイナミック確度を保証
  • 低雑音定格が再現性を改善
  • VMEbus の全仕様に電気的および機械的に適合
  • プログラム可能な信号経路
  • ボードに機能を統合することにより、システムのサイズ、複雑さ、開発時間、コストを低減