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5517EL レーザーヘッド

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主な特長と仕様

一般仕様

  • リニア光学系での最大速度: 1.55 m/s
  • 基準周波数: ≧5.8 MHz
  • 質量: 3.2 kg
  • ウォームアップ時間: 45分(ファンと排気管が排気カバーに接続されている場合)

レーザービーム

  • 直径: 6 mm
  • 最小出力光量: 65 μW(3年後、50 μW)
  • 最大出力光量: 220 μW
  • ビーム高さ: 80.8±1.0 mm

電源要件

  • +15 V±0.3 V(最大2.2 A)
  • -15 V±0.3 V(最大0.03 A)
     


 

概要

Keysight 5517ELは、主に、半導体リソグラフィー/フラットパネルアプリケーションのように動きが高速なVME/PCベースのレーザー干渉計システムで使用します。 独自の要件については計測お客様窓口にお問い合わせください。