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5517DL レーザーヘッド
キーサイト5517DLは、主に半導体リソグラフィやフラットパネルアプリケーションなど、動作速度が速いVMEおよびPCベースのレーザー干渉計システムで使用されます。
スタート価格:
主な特長
一般
- リニア光学での最大速度：1.2 m/s
- 基本周波数：4.4 MHz、オプション300：5 MHz
- 重量：3.2 kg (7 lb)
- ウォームアップ時間：45分（ファンと排気管が排気カバーに接続されている場合）
レーザービーム
- 直径：6 mm（オプション009：9 mmを選択可能）
- 最小出力パワー: 180 µW （3年後、120 µW）オプション300：80 uW （3年後 50 uW）
- 最大出力パワー：1 mW（オプション300：220 uW）
- ビームの高さ：80.8 ± 1.0 mm
入力電源要件
- 最大3.0 A で＋15 V ±0.3 V
- 最大0.3 A で－15 V ±0.3 V
Keysight 5517Bの主な用途は、半導体リソグラフィやフラットパネルアプリケーションなど、動作速度が速いVMEおよびPCベースのレーザー干渉計システムです。 カスタム要件については、キーサイトまでお問い合わせください。
主な仕様
Beam height (mm)
80.8
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
1329**
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
> 180
Reference frequency (MHz)
>= 4.4
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min)
90 (*45)
Beam height (mm)
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number
Reference frequency (MHz)
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min)
80.8
1329**
> 180
>= 4.4
90 (*45)
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Beam height (mm):
80.8
Max linear velocity - depends on electronics/receivers (mm/s) **E1709A must be used:
1329**
Output Power Higher Power Option Available �w:CX_Number:
> 180
Reference frequency (MHz):
>= 4.4
Warm-up time* if fan is connect to vent body (min):
90 (*45)
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