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5517DL レーザーヘッド

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価格: 日本

* 参考価格、標準納期は予告無く変更されることがあります。詳しくはお問い合わせ下さい。 価格は希望小売価格です

主な特長と仕様

一般仕様

  • リニア光学系での最大速度: 1.2 m/s
  • 基準周波数: ≧4.4 MHz(オプション300: 5 MHzを選択可能)
  • 質量: 3.2 kg
  • ウォームアップ時間: 45分(ファンと排気管が排気カバーに接続されている場合)

レーザービーム

  • 直径: 6 mm(オプション009: 9 mmを選択可能)
  • 最小出力光量: 180 μW(3年後、120 μW)(オプション300: 80 μW(3年後、50 μW)を選択可能)
  • 最大出力光量: 1 mW(オプション300: 220 μWを選択可能)
  • ビーム高さ: 80.8±1.0 mm

電源要件

  • +15 V±0.3 V(最大3.0 A)
  • -15 V±0.3 V(最大0.3 A)
     


 

概要

Keysight 5517DLは、主に、半導体リソグラフィー/フラットパネルアプリケーションのように動きが高速なVME/PCベースのレーザー干渉計システムで使用します。 独自の要件については計測お客様窓口にお問い合わせください。