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5517CL レーザーヘッド
The Keysight 5517CL is used primarily in VME and PC based laser interferometer systems where the velocity of motion is faster, such as semiconductor lithography and flat panel applications.
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HIGHLIGHTS
一般仕様
- リニア光学系での最大速度： 711 m/s
- 基準周波数： 2.4～3.0 MHz
- 質量： 3.2 kg
- ウォームアップ時間： 45分（ファンと排気管が排気カバーに接続されている場合）
レーザービーム
- 直径： 6 mm（オプション003： 3 mm、オプション009： 9 mmを選択可能）
- 最小出力光量： 180 μW
- 出力パワー： 1 mW
- ビーム高さ： 80.8±1.0 mm
電源要件
- ＋15 V±0.3 V（最大2.2 A）
- －15 V±0.3 V（最大0.03 A）
Keysight 5517CLは、主に、半導体リソグラフィーアプリケーションのようなVME/PCベースのレーザー干渉計システムで使用します。 オプション009では、9 mmのビーム直径が得られ、広い角度範囲の測定が可能になります。 独自の要件については計測お客様窓口にお問い合わせください。
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