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5517CL レーザーヘッド

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主な特長と仕様

一般仕様

  • リニア光学系での最大速度: 711 m/s
  • 基準周波数: 2.4~3.0 MHz
  • 質量: 3.2 kg
  • ウォームアップ時間: 45分(ファンと排気管が排気カバーに接続されている場合)

レーザービーム

  • 直径: 6 mm(オプション003: 3 mm、オプション009: 9 mmを選択可能)
  • 最小出力光量: 180 μW
  • 出力パワー: 1 mW
  • ビーム高さ: 80.8±1.0 mm

電源要件

  • +15 V±0.3 V(最大2.2 A)
  • -15 V±0.3 V(最大0.03 A)


 

概要

Keysight 5517CLは、主に、半導体リソグラフィーアプリケーションのようなVME/PCベースのレーザー干渉計システムで使用します。 オプション009では、9 mmのビーム直径が得られ、広い角度範囲の測定が可能になります。 独自の要件については計測お客様窓口にお問い合わせください。