Highlights

IC-CAP 2011.04 新機能およびアップデート

  • W8510 IC-CAP WaferPro に東京エレクトロン社(TEL)製P8とP12フル・オート・プローバに対応したドライバおよび、新計測アルゴリズムの事例ファイル、チュートリアルが追加されました。 計測アルゴリズムの作成に有効なプログラミング機能のアップデートなどもなされました。
  • CMOS 抽出パッケージは最新のモデル・バージョン対応に更新されました。( BSIM4 (4.6.5), BSIMSOI4 (4.3), HiSIM_HV (1.2.1) and PSP (103.1)). CMOS パッケージはWaferProと共に活用できるようになりました。 これにより、CMOSデバイスの温度依存測定などが効率的に行えるようになります。
  • Windows 7のサポート。
  • プラットフォーム, ユーザインタフェース、PEL 機能のアップデートにより、マルチプロット上にタイトル・フッタの記述、最適化テーブルにおけるenable/disableのチェックも行えるようになるなど、操作上の数々の改善がなされています。

Description

IC-CAP 2011.04の紹介

IC-CAP 2011.04 では、WaferProへの統合も含め、モデリングの効率化の為の機能向上がなされています。

W8510 IC-CAP Wafer Professional

IC-CAP WaferPro は半導体ウェハのDC, CV, RF測定の自動測定を効率化するソリューションであり、IC-CAP2010.08よりリリースが開始されました。今回のリリースではCMOS, Bipolar, Diode , リング・オッシレータ・デバイスなどに対応する、幾つかの計測ルーチンの事例ファイルが追加されました。 ユーザは、チュートリアル・ガイドを参照のうえ、これらを各自の用途に合わせて調整し、WaferProを用いた測定システムの構築を効率的に行うことができます。

多くの計測機、プローバ、スイッチング・マトリックス、温度調整装置などドライバがサポートされていますが、本リリースでは東京エレクトロン社製TEL P8とP12 フル・オート・プローバなどに対応するドライバなどが追加されました。

WaferProの詳細については:こちら

IC-CAP WaferPro Environment and Measured Data Display

図 1. WaferPro 環境と測定データ・ディスプレイ

CMOS 抽出パッケージ

CMOSモデリング・パッケージは、各CMOSモデルに対応したものが用意されており、複雑なCMOSデバイス・モデルの抽出について、要求される機能面と効率性の両面から最適なモデルを抽出するための環境として準備されています。 パッケージとしては、業界の標準モデルである各モデルに対応するものを用意しております。 (PSP, HiSIM, BSIM3, BSIM4, BSIMSOI4, HiSIM_HV)。  IC-CAP 2011.04 ではBSIM4, BSIMSOI4, PSP ,HiSIM_HV といった各モデルの最新のリリースに対応したものに更新されています。更に、デバイスの電力消費の特性に合わせて、測定における安全オペレーション・エリアの設定ができるなど新機能が搭載されています。 また、トランジスタ・モデルには含まれない振る舞いや、外部からの影響を追加するためのユーザー設定可能なパラメータも追加されています。
CMOSパッケージはWaferProと組み合わせて活用できるようになり、膨大な自動測定制御への対応も可能となります。図にも示されているように、CMOS測定パッケージにより、測定条件やデバイス情報が管理されるとともに、Wafer上の多点測定に対するWaferProルーチンやテスト・プロジェクトも作成可能となっています。

CMOS測定パッケージおよびWaferProにより、いろんな位置でのデバイスの測定を行えば、CMOS抽出パッケージはWaferProを通じ集録データをロードし、モデル抽出に活用します。

CMOS Measurement Module

図 2. CMOS測定モジュールによるデバイス・テーブルおよびWaferProへのリンク

新測定機能

DMOS, LDMOSといった高パワーデバイスのモデリング、特性化を実現するために、B1505A用のIC-CAP 測定ドライバが改善され、複数のパルスト・モジュールに対応できるようになりました。 更に, IC-CAP 2011.04 では、高精度測定を要するデバイスや高パワーデバイスなどを精度を損なうことなく計測するための、バイアス・ユニットのon/off順序の制御も行えるようになっています。 本リリースではTAMS L488 LAN-GPIBインタフェースも正式サポートとなりました。
TAMS L488 LAN-GPIB インタフェースの詳細はこちらを参照ください:
www.tamsinc.com.

新シミュレーション, ユーザ・インタフェース, プログラミング機能

IC-CAP 2011.04 ではSPICEシミュレーションにおける .PARAM statement をサポートします。 . IC-CAP 2011.04 は Keysight Advanced Design System (ADS)のVerilog A コンパイラの機能も装備されました。  Verilog-A の詳細情報は下記サイトでご覧いただけます。  www.tiburon-da.com.

ユーザ・インタフェースの機能向上もなされており、オプティマイザのパラメータの選択制御用チェック・ボックスも追加されました(図3参照)。 また、”Comment” と称される新テキスト欄により、マルチプロット上でのヘッダ/フッタの記載に加え、テキストサイズの制御なども行えるようになりました。

Optimization UI

図 3. 新ユーザ・インタフェース:最適化時のパラメータ選定制御

注記:Solaris プラットフォームのサポート完了計画

IC-CAP 2012より, Keysight EEsof EDAはIC-CAPの新リリース版における Solaris (SUN OS) プラットフォームはサポート外となる予定です。IC-CAP2011版がSolarisプラットフォーム最後のバージョンとなる予定です。

詳細情報

IC-CAP2011.04の詳細につきましては、こちら のIC-CAP2011.04 What's Newスライド(英文)をご覧ください。

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