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SPECS-FAソフトウェア

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価格: 日本

* 参考価格、標準納期は予告無く変更されることがあります。詳しくはお問い合わせ下さい。 価格は希望小売価格です

主な特長と仕様

特長

  • SPECSテストシェルに基づくKeysight 4080シリーズ用の工場オートメーションソリューション SPECS
  • 柔軟なテスト制御および複数のレシピ管理
  • SEMI規格E5(SECS II)、E30(GEM)、E87(CMS)、E39(OSS)、E40(PMS)、E90(STS)およびE94(CJM)をサポート
  • パラメトリック・テスト・システムおよびウエハープローバーの両方の状態をリアルタイムで報告

製品の利点

  • 工場オートメーション環境でのKeysight 4080シリーズおよびウエハープローバーを簡単に制御
  • SPECS上で作成されたアルゴリズムが変更なしでSPECS-FA上で動作
  • 適応テスト機能により、テストコストを低減可能

概要

SPECS-FA(半導体プロセス評価コアソフトウェア-工場オートメーション)は、業界標準のSPECSテストシェルをベースにしたパラメトリックテスター用の工場オートメーション・ソフトウェア・ソリューションです。柔軟なテスト制御、複数の処方箋管理が可能で、2つのポートを備え、CMSおよびSECS/GEMをサポートしています。

メーカーは、SPECS-FAを使用することにより、短時間での立ち上げ、継続的な改善、効率的な機器配備/プロセスモニターを実現できます。