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4073B ウルトラ・アドバンスド・パラメトリック・テスタ

販売/サポート: 販売終了製品 | サポート継続中
販売終了

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主な特長と仕様

特長

  • HPSMUおよびHRSMUそれぞれ2個まで、合計8個までのSMUをサポート
  • 低リーケージ・スイッチング・マトリクス、完全にガードされた12~48のケルビン出力にカスタマイズ可能
  • パルス・ジェネレータ制御機能つき高周波スイッチング・マトリクス
  • 外部機器サポートのための補助入力8ヶおよび拡張経路入力48ヶ

測定能力

  • 2 μVおよび1 fAの測定分解能(HRSMU)
  • ± 200 Vおよび± 1 Aの出力能力(HPSMU)
  • 1 kHz~2 MHzのキャパシタンス測定周波数レンジ(HSCMU)
  • ± 1.6 Aのグランド・ユニット(GNDU)

概要

Keysight 4073Bウルトラ・アドバンスド・パラメトリック・テスタを使用することにより、半導体メーカは半導体ウェーハの量産製造プロセスにおけるキャパシタンス測定、DC測定のテスト時間を大幅に削減できます。4073A、4072Aよりも最大40%スループットを向上させることができます。4073Bは柔軟なテスト・ソリューションです。高精度DC測定、キャパシタンス測定、フラッシュ・メモリ・セルのテスト、その他の高周波アプリケーションのテストが行えます。

パラメトリック・テスト用のトータル・ソリューション

効率的かつ総合的なパラメトリック・テスト・ソリューションには優れたハードウェアとともに優れたソフトウェアが必要です。この要件を満足させるために、4073Bでは様々なパラメトリック・テスト・ソフトウェア・ソリューションと互換性のある汎用システム・ソフトウェア環境を搭載し、KeysightのSPECS(半導体プロセス評価コア・ソフトウェア)テスト・シェル、SPECS-FA、VPA/PME、PDQ-WLRなどを使用できるようにしています。ソフトウェアの詳細は、下の関連製品 & サービスをクリックしてください。

特長

  • 最大8個のソース・モニタ・ユニット(SMU)をサポート
  • 高分解能SMUを最大2個で、ハイ・パワーSMU(HPSMU)を最大2個サポート
  • 内蔵の高速キャパシタンス測定ユニット(CMU)による、高速キャパシタンス測定
  • SMUの自己校正により、個別に電流または電圧の印加が設定可能
  • 8個の補助入力ポートまたは48個の拡張パス入力経由で外部測定器をシステムに統合可能
  • 12~48個の出力ピンにカスタマイズ可能な、フル・ガード付きケルビン出力ピンに対して全入力を接続できる低リーク・スイッチング・マトリックス
  • 最大8個の補助入力ポートまたは48個の拡張パス入力経由で外部測定器をシステムに統合可能
  • 12~48個の出力ピンにカスタマイズ可能な、フル・ガード付きケルビン出力ピンに対して全入力を接続できる低リーク・スイッチング・マトリックス
  • パルス・ジェネレータ制御機能内蔵の高周波スイッチング・マトリックス