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10898A デュアル・レーザ・アクシス・ボード

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販売終了

主な特長と仕様

一般

  • プラットフォーム/サイズ: VME、6U
  • ボードあたりの軸数: 2
  • 分解能拡張: ×256
  • 外部サンプル/データ・ホールド入力: 4 + 1

平面鏡光学系による動作

  • 分解能: 0.62 nm
  • 最高速度(レーザ・ヘッドによっても制限あり): 2700 mm/s

タイミング

  • 位置データ更新レート: 10 MHz
  • 非同期サンプルまたはホールド不確実さ ±50 ns
  • 同期サンプルまたはホールドの不確実さ: < 800 ps + < 40 ps/℃

特長

  • 柔軟なハードウェアI/O
  • 多軸システムの基準および測定信号の容易でプログラム可能なルーティング
  • 36ビット、2の補数によるハードウェア位置データ出力、10 MHz アップデート速度
  • 性能が高められた2個の10897Cを1枚の6Uボード上に搭載

概要

Keysight 10898Aデュアル・レーザ・アクシス・ボードは、Keysight 10897B高分解能レーザ・アクシス・ボードと同じ分解能をより高いスルーレートとより低いノイズで提供します。従来のレーザ・システムと比べて高速移動と低ノイズにより、精度と再現性がさらに高まり、IC製造装置等の高度なアプリケーションに適用できます。Keysight 10898Aは、Keysight 10897Bと同様、高分解能平面鏡干渉計でλ/2048(0.3nm)の測定分解能を提供します。

10898Aの詳細については、製品概要の10ページをご覧ください。

  • 1個のボード上に2個の高性能レーザ
  • 分解能最高0.31nm
  • 平面鏡スルーレート2.7m/s
  • 5MHzデュアル・チャネル・データ伝送