主な特長

 最大通信距離

  • 最大15 m (50 ft)

精度

  • 表示値の±0.2 %

分解能(1フィート当たり)

  • 0.002 μm (2インチ)
  • 0.003 μm (4インチ)
  • 0.005 μm (6インチ)

基準面の確度

表面プレートのフラットネス測定の不確かさは、以下の値で区切られた2つの平行な平面で囲まれます:

  • メートル単位のモード:0.03 M2 µm ここではM = メートルでの表面の対角線の長さ
  • 英語単位モード:0.12 F2 µin ここではF = フィートでの表面の対角線の長さ

キーサイト 55282A フラットネス・アクセサリ・キットは、55281A Angular Opticsキットと併用することで、5530レーザー校正システムでフラットネス測定とウェイ・ストレートネス測定の両方を行うことができます。

55282Aフラットネス・アクセサリ・キットは、10759Aフットスペーシングキットと10773Aフラットネスミラー2個で構成されています。 フットスペーシングキットには、それぞれ50.8 mm、101.6 mm、152.4 mmのパッド間隔を持つ3つの精密ベースプレートが用意されており、プレートの校正に必要なグリッドの設定とデータの蓄積時間を最小限に抑えることができます。 フラットネスミラーは100 %の反射率を持ち、入射するレーザービームの方向を90度変えることができます。

55282Aフラットネス・アクセサリ・キットは、干渉計システムをそれぞれのアプリケーションの物理的なレイアウトや測定要件に合わせて調整するための測定光学系シリーズの1つのコンポーネントです。 適切なレーザーヘッドやシステムエレクトロニクスと一緒に構成された光学部品は、製品の品質や歩留まりを向上させ、精密製品の製造を容易にする精密な位置決めや校正システムの一部となります。

  • ミラーマウントは、回転式のベースプレートが付いているので、表面プレートの校正が容易
  • 従来のオートコリメータや水準器に比べて、測定・解析の高速化、精度および再現性が向上
  • プレート表面には熱を発するものがない
  • 5530レーザー校正システムをはじめとする各種キーサイトシステムで使用可能
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55282A Flatness Accessory Kit

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