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10775A ロングレンジ真直度光学部品
Long range straightness optics combine a straightness interferometer and reflector to allow measurements over a range of travel up to 30 meters.
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HIGHLIGHTS
YHP、HP、アジレントから引き継がれるレーザ干渉計ソリューションのラインナップをご覧ください。
Keysight 10775Aは真直度干渉計とリフレクタを組み合わせたもので、1m～30mまでのレンジを測定できます。この光学部品は高精度の光直定規として働き、工作機械や測定機械の座標運動の真直度を、0.1μmの分解能で測定できます。
Keysightは、干渉計を物理的なレイアウトや測定条件に合わせることができる、さまざまな測定用光学部品を提供しています。10775Aはそのうちの1つで、5529Aで使用します。
- 真直度測定確度
- 全体の確度 = 光基準確度 + 測定確度
- これは、直定規と表示器を使用して真直度を測る従来の方法に相当します。光基準確度は直定規の確度、測定確度は表示器の確度に相当します。
- 光基準確度
- 光基準の不確かさは、直定規（ミラー）反転法によって除去可能
メートル単位モード: ±0.015 M2μm - ここで:
- M = 移動するオプティクスの行程距離
- 測定確度
- 温度範囲の表示値:
- 0μm～100μm 100～1,500μm
- 0μm～4000μm 4000～60,000μm
- 15℃～25℃ ±5% ±2.5% ±02.55μm
- 0℃～40℃ ±7.5% ±2.5% ±5μμm
- 真直度測定分解能
- Keysight 5519A、Keysight 5519B、Keysight 5518A
- 0.1μm 36μm
- 真直度測定範囲（軸上の移動に対する直角）
- ±1.5mm
- 軸間隔（移動）
- （干渉計からリフレクタまでの距離、代表値、適切な調整、15℃～25℃）:
- 1m～30m
- 空気の乱れによる影響を受けにくく高確度
- 55283A真直度測定キットの測定距離を延ばすために使用可能
- 高分解能プレーンミラー
- 5529Aキャリブレータ・システムなど各種Keysightシステムで使用可能
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