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価格: 日本

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概要

YHP、HP、アジレントから引き継がれるレーザ干渉計ソリューションのラインナップをご覧ください。

Keysight 10775Aは真直度干渉計とリフレクタを組み合わせたもので、1m~30mまでのレンジを測定できます。この光学部品は高精度の光直定規として働き、工作機械や測定機械の座標運動の真直度を、0.1μmの分解能で測定できます。

Keysightは、干渉計を物理的なレイアウトや測定条件に合わせることができる、さまざまな測定用光学部品を提供しています。10775Aはそのうちの1つで、5529Aで使用します。

 

  • 真直度測定確度
  • 全体の確度 = 光基準確度 + 測定確度
  • これは、直定規と表示器を使用して真直度を測る従来の方法に相当します。光基準確度は直定規の確度、測定確度は表示器の確度に相当します。
  • 光基準確度
  • 光基準の不確かさは、直定規(ミラー)反転法によって除去可能
    メートル単位モード: ±0.015 M2μm
  • ここで:
  • M = 移動するオプティクスの行程距離
  • 測定確度
  • 温度範囲の表示値:
  • 0μm~100μm 100~1,500μm
  • 0μm~4000μm 4000~60,000μm
  • 15℃~25℃ ±5% ±2.5% ±02.55μm
  • 0℃~40℃ ±7.5% ±2.5% ±5μμm
  • 真直度測定分解能
  • Keysight 5519A、Keysight 5519B、Keysight 5518A
  • 0.1μm 36μm
  • 真直度測定範囲(軸上の移動に対する直角)
  • ±1.5mm
  • 軸間隔(移動)
  • (干渉計からリフレクタまでの距離、代表値、適切な調整、15℃~25℃):
  • 1m~30m
  • 空気の乱れによる影響を受けにくく高確度
  • 55283A真直度測定キットの測定距離を延ばすために使用可能
  • 高分解能プレーンミラー
  • 5529Aキャリブレータ・システムなど各種Keysightシステムで使用可能