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B1500A 半導体デバイス・パラメータ・アナライザおよび測定モジュール

プレシジョン電流/電圧アナライザシリーズのKeysight B1500A 半導体デバイス・アナライザは、IV、CV、パルス/ダイナミックIVなどの特性を評価できるオールインワンのアナライザで、基本的なアプリケーションから最先端のアプリケーションまでの総合的な特性評価に対応するように設計されています。また、幅広い測定機能を備え、デバイス、材料、半導体、パッシブ/アクティブコンポーネントなど事実上すべてのタイプの電子デバイスの電気特性の評価に対応し、信頼性の高い効率的な測定を実現します。さらに、B1500Aはモジュラーアーキテクチャを採用しているため(10個のスロットを使用可能)、測定ニーズが時間とともに変化した場合でも、測定モジュールを追加/アップグレードできます。


GUIベースのKeysight EasyEXPERT group+特性評価ソフトウェアは、B1500Aに内蔵のWindows 7プラットフォーム(15インチのタッチスクリーン搭載)またはご使用のPCで動作し、特性評価の作業効率を高めます。また、対話形式での手動操作または半導体ウエハープローバを用いたウエハー全体の自動化により、測定のセットアップ/実行から解析およびデータ管理まで、特性評価プロセス全体を通して、効率的で再現性があるデバイスの特性評価をサポートしています。EasyEXPERT group+には、数百種類のすぐに使用できる測定(アプリケーションテスト)が搭載されているので、複雑なデバイスの特性評価も簡単に実行できます。また、測定を実行する度にテスト条件や測定データを内蔵データベース(ワークスペース)に自動的に保存できるので、重要な情報が失われることがなく、測定を後日再現することも可能です。Keysight B1500Aは、これらの汎用機能を使用してデバイスの特性を評価できるオールインワンのソリューションです。


B1500Aは、さまざまなモジュールをサポートし、測定ニーズに応じて最大10スロットまで拡張できます。標準的なSMUモジュールでは、スポット測定、掃引測定、サンプリング測定などさまざまなIV測定を実行できます。さらに、SMUは準静的CV(QSCV)測定もサポートしています。MFCMUモジュールは、キャパシタンス測定をサポートし、オプションのSCUUを搭載すればIV/CVの切り替えも簡単です。WGFMUを使用すれば、超高速パルスドIV/ダイナミックIV測定が可能で、任意波形発生機能や高速デジタイジング測定機能をベースにした最先端のアプリケーションに対応できます。これらのモジュールを組み合わせることにより、さまざまなアプリケーションに対応できます。

B1500Aのアプリケーションについての詳細はここで確認できます。
 

  • B1500A 半導体デバイス・パラメータ・アナライザ B1500A 半導体デバイス・パラメータ・アナライザ 

    B1500A 半導体デバイス・パラメータ・アナライザ

    • 最大10スロットまで測定モジュールを拡張/アップグレード可能
    • EasyEXPERTソフトウェア(内蔵のWindows 7で動作)
    • すぐに使用できる数百種類の測定ライブラリ
    • 15インチのタッチ・スクリーンを備え、特性評価でわかりやすい操作、解析、検証を実現
       

  • B1514A (B1500A-A1A, B1500AU-141) 50 µs パルス・ミディアム電流ソース/メジャメント・ユニット(MCSMU) B1514A (B1500A-A1A, B1500AU-141) 50 µs パルス・ミディアム電流ソース/メジャメント・ユニット(MCSMU) 

    B1514A (B1500A-A1A, B1500AU-141) 50 µs パルス・ミディアム電流ソース/メジャメント・ユニット(MCSMU)

    • 最大30 V/1 A(0.1 A DC)の広いパルス・レンジ
    • 2 μs分解能、最小50 µs幅のパルス幅(B1500Aの他のSMUの10倍高速なパルス)
    • オシロスコープ表示で、パルスド測定セットアップの検証と、パラメータの最適化の迅速な最適化が可能
       

  • B1530A (B1500A-A30, B1500AU-030) 波形発生器/高速測定ユニット(WGFMU) B1530A (B1500A-A30, B1500AU-030) 波形発生器/高速測定ユニット(WGFMU) 

    B1530A (B1500A-A30, B1500AU-030) 波形発生器/高速測定ユニット(WGFMU)

    • パルスドIV/トランジェントIV測定に対応する高速(200 MSa/s)測定機能
    • 10 nsの分解能の任意の波形の作成
    • 負荷線の影響のない正確なパルスドIV測定
    • ダイナミックレンジ機能による広い電流範囲

  • B1510A/B1511B/B1517A (B1500A-A10/A11/A17) ソース/メジャート・ユニット(SMU) B1510A/B1511B/B1517A (B1500A-A10/A11/A17) ソース/メジャート・ユニット(SMU) 

    B1510A/B1511B/B1517A (B1500A-A10/A11/A17) ソース/メジャート・ユニット(SMU)

    • 4象限ソースと測定機能によるfAまでの正確なIV特性評価
    • 測定範囲:0.1 fA~1 A/0.5 µV~200 V
    • スポット/掃引/パルス/サンプリング測定機能
    • 漏れ電流補正によるQS-CV測定

  • B1520A (B1500A-A20, B1500AU-020) マルチ周波数キャパシタンス測定ユニット(MFCMU) B1520A (B1500A-A20, B1500AU-020) マルチ周波数キャパシタンス測定ユニット(MFCMU) 

    B1520A (B1500A-A20, B1500AU-020) マルチ周波数キャパシタンス測定ユニット(MFCMU)

    • CV、C-t、C-f測定用のマルチ周波数ACインピーダンス測定機能
    • 1 kHz~5 MHzの周波数レンジ
    • 25 Vの内蔵DCバイアスとSMU/SCUUによる100 VのDCバイアスSCUUによる簡単で高速で正確なIV/CV測定

  • B1525A (B1500A-A25, B1500AU-025) 高電圧半導体パルス・ジェネレータ・ユニット(HV-SPGU) B1525A (B1500A-A25, B1500AU-025) 高電圧半導体パルス・ジェネレータ・ユニット(HV-SPGU) 

    B1525A (B1500A-A25, B1500AU-025) 高電圧半導体パルス・ジェネレータ・ユニット(HV-SPGU)

    • 不揮発性メモリの評価に適した高電圧出力(最大±40 V)
    • 各チャネルによる2レベル/3レベル・パルス機能のサポート
    • 10 nsの分解能での柔軟な任意波形の作成
    • モジュール当たり2チャネル

  • B1542A 10 nsパルスドIVパラメトリック・テスト・ソリューション B1542A 10 nsパルスドIVパラメトリック・テスト・ソリューション 

    B1542A 10 nsパルスドIVパラメトリック・テスト・ソリューション

    • 高k/SOIパルスドIV特性評価に最適なソリューション
    • 10 nsの最小ゲート・パルス幅、2 nsの立ち上がり/立ち下がり時間
    • 1 μsの電流測定分解能
    • サポート測定器:B1500A、E5270B、E5260A、E5262A/63A、4155B/C、4156B/C