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低リーク・スイッチ・メインフレーム・ファミリ(B2200A/B2201A/E5250A)

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製品 実効電流測定分解能 3軸/同軸入力 最大出力ポート セトリング時間 (補足情報) 帯域幅 (補足情報) 最適な用途 主な特長
B2200A fA リーケージ・スイッチ・メインフレーム B2200A fA リーケージ・スイッチ・メインフレーム
1 fA 8 / 6 48 2秒間で50 fA未満 30 MHz プローブカードによる半自動ウェーハ・プローバのパラメトリック測定 • フロント・パネル操作 • リレー・ステータス・ライト表示 • 14個の内部経路 • 4-SMUケルビンのサポート
B2201A 14ch 低リーケージ・スイッチ・メインフレーム B2201A 14ch 低リーケージ・スイッチ・メインフレーム
10 fA 8 / 6 48 2秒間で300 fA未満 30 MHz プローブカードによる半自動ウェーハ・プローバのパラメトリック測定 • フロント・パネル操作 • リレー・ステータス・ライト表示 • 14個の内部パス • 4-SMUケルビンのサポート
E5250A 低リーク・スイッチ・メインフレーム E5250A 低リーク・スイッチ・メインフレーム
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