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4070シリーズ・アドバンスド・パラメトリック・テスト・システム

まとめ

豊富な機能により、製造でのパラメトリック・テストにおける広範囲のソリューションおよび柔軟性に加えて、将来のプロセス技術に対する適合性を提供します。

トランジスタ・デバイス・ストラクチャのさらなる小型化を推進するムーアの法則と、回路の高密度化に関する飛躍的な技術の進歩により、さらに広範囲のパラメトリック測定、また多数のパラメータのより高確度の測定が製造において必要になります。製造パラメトリック・テスト・システムとして広範なソリューションとコスト・パフォーマンスを提供する4070シリーズにより、Keysightはこの課題に応えます。4070シリーズは、今日の65 nmおよび将来のサブ65 nmプロセス・テクノロジーをテストするために必要なDCおよびRF測定機能を備えています。

  • 豊富な機能セットを備えた規格ベースのファミリ
    4070シリーズ・ファミリの全製品がフラッシュ・メモリ・セル・テスト、キャパシタンス対電圧(CV)測定、リング発振器の評価などの完全なDCパラメトリック・テスト機能を備えています。さらに、全てのモデルをSECS/GEM互換の300 mm自動ファクトリ環境に統合することができます。
  • 製造テストでラボ・テスト機能を使用可能
    今日まで、高度な65 nmプロセスに必要な高精度電流/電圧測定の分解能はラボ環境でのみ使用できました。Keysight 4070シリーズは、製造テストで高感度デバイス・パラメータの測定を実現します。
  • スループットの向上とテスト・コストの削減
    Keysight 4070シリーズでは、高速キャパシタンス測定ユニット(CMU)がテスト・ヘッドに組み込まれていて、1 kHz~2 MHzの周波数レンジで極めて高速なキャパシタンス測定を行えます。
  • 極薄酸化膜ストラクチャのテストでの最高の柔軟性
    Keysight 4070シリーズはHFCV手法とRFCV手法をサポートしているので、プロセス・テクノロジーと製造テストのニーズに最適なCV動作の評価手法を選択することができます。
  • 高速デバイスの正確な測定
    Keysight 4070シリーズはRF Sパラメータ測定(PNA/ENA)をサポートし、高速デバイスを正確に評価することができます。
  • 超短パルス測定機能による温度の影響の除去
    Keysight 4070シリーズでは10 nsまでの超短パルスIV測定を行えるので、SOI(silicon-on-insulator)などの温度の影響を受けやすいデバイスや、電荷の影響を受けやすいHigh-kトランジスタを評価できます。

製品比較

製品DCパラメトリック・テストフラッシュ・セル・テストリング発振器の評価1 fA電流測定分解能高速キャパシタンス測定(~2 MHz)RF 20 GHz Sパラメータ/(RF-CV) [PNS](最大20 GHz)HFCV (~110 MHz)RFCV/(RF Sパラメータ) [ENA](最大8.5 GHz)超短パルスIV(最小10 ns)
  4076SAASAAAAA
  4075SAAN/AAAAAA
  4073BSAASSN/AN/AN/AN/A
  4072BSAAN/ASN/AN/AN/AN/A
  4073ASAASN/AN/AN/AN/AN/A
  4072ASAAN/AN/AN/AN/AN/An/A

*表記について : S = 標準機能、A = 使用可能な機能、N/A = 適用なし

  • 4072A アドバンスド・パラメトリック・テスタ [販売終了製品] 4072A アドバンスド・パラメトリック・テスタ [販売終了製品] 

    4072A アドバンスド・パラメトリック・テスタ [販売終了製品]

    半導体プロセス要件を一つでご提供できるオールイン・ワン・ソリューション

  • 4072B アドバンスド・パラメトリック・テスタ [販売終了製品] 4072B アドバンスド・パラメトリック・テスタ [販売終了製品] 

    4072B アドバンスド・パラメトリック・テスタ [販売終了製品]

    半導体ウェーハの量産製造プロセスにおけるテスト時間を大幅に削減できます。

  • 4073A ウルトラ・アドバンスド・パラメトリック・テスタ [販売終了製品] 4073A ウルトラ・アドバンスド・パラメトリック・テスタ [販売終了製品] 

    4073A ウルトラ・アドバンスド・パラメトリック・テスタ [販売終了製品]

    様々なパラメトリック・テスト・ソフトウェア・ソリューションと互換性のある汎用システム・ソフトウェア環境を搭載し、KeysightのSPECSテスト・シェル、SPECS-FA、VPA/PME、PDQ-WLRなどを使用できるようにしています。

  • 4073B ウルトラ・アドバンスド・パラメトリック・テスタ [販売終了製品] 4073B ウルトラ・アドバンスド・パラメトリック・テスタ [販売終了製品] 

    4073B ウルトラ・アドバンスド・パラメトリック・テスタ [販売終了製品]

    半導体ウェーハの量産製造プロセスにおけるテスト時間を大幅に削減できます。

  • 4075 アドバンスド DC/RF/パルス・パラメトリック・テスタ [販売終了製品] 4075 アドバンスド DC/RF/パルス・パラメトリック・テスタ [販売終了製品] 

    4075 アドバンスド DC/RF/パルス・パラメトリック・テスタ [販売終了製品]

    製造テスト環境において65 nm(以下)テクノロジーによって必要とされるDCパラメトリック測定、RFパラメトリック測定、高周波CV測定、およびパルスIV測定の要件に適合します。

  • 4076 ウルトラ・アドバンスド DC/RF/パルス・パラメトリック・テスタ [販売終了製品] 4076 ウルトラ・アドバンスド DC/RF/パルス・パラメトリック・テスタ [販売終了製品] 

    4076 ウルトラ・アドバンスド DC/RF/パルス・パラメトリック・テスタ [販売終了製品]

    製造テスト環境において65 nm(以下)テクノロジーによって必要とされるDCパラメトリック測定、RFパラメトリック測定、高周波CV測定、およびパルスIV測定の要件に適合します。